Jump to content
    

Оборудование 180нм

On 4/14/2021 at 2:53 PM, baumanets said:

Да, тестирование пластин. Хочется открытый проект стола сделать. Чтобы народ снизу двигал микроэлектронику.

МИМ-340:

Quote
Характеристики микроскопа
Оптическое увеличение 1000 х
Поле зрения, мкм 7-150
Разрешение по вертикали, нм 0,1
Разрешение в плоскости XY, нм 100 - 10
Размер кадра, пикс. 1024 х 1024
Скорость съемки, кадр/сек 3 - 30
Источника света Лазер 405 нм
Характеристики предметного стола
Длина хода (X - Y - Z), мм 300x300x100
Результирующая точность, нм 150
Разрешение обратной связи, нм 100
Неплоскостность хода, нм 80
Непрямолинейность хода, нм 40
Скорость перемещения, мм/с До 100
Грузоподъемность, кг. 100
Вес, кг. 700

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

Да. 700кг полимергранита.

И интерферометр, скорее всего Майкельсон, с поправками на атмосферное давление и температуру и постоянство состава атмосферы.

Только где у нас гранит нормально льют и шлифуют? :-)

Стол скорее всего неподвижен, двигается портал.

Share this post


Link to post
Share on other sites

3 hours ago, baumanets said:

Только где у нас гранит нормально льют

"Отливают в граните" у нас преимущественно политики.:biggrin:  Для точного оборудования используют только природный гранит. Синтегран и прочие  композиты не дают стабильности размеров. Гранит в основном типа темного габро без прожилок. Немцы любят делать из месторождений в северной Африке, марка Impala. У нас есть не плохие места в Карелии.   Для общего понимания как работают с гранитом можно посмотреть один из фильмов Wenzel.

Они там показывают производство коодинатно-измерительных машин, но у того-же Аэротеха почти то же самое, габариты только скромнее.  https://www.aerotech.com/

Интерферометры двухчастотные, если по проще, то HP/Keysight, если доли нанометров, то Renishaw. Литературы по ним в сети довольно много, вплоть до сервис мануалов, если хорошо поискать.

По поводу степперов, и проблем точной механики.

Можно получить некоторое представление, полистав архив журналов Mikroniek. https://www.dspe.nl/mikroniek/archive/

Довольно любопытная страничка ссылок на фирмы с кем дружат Голландцы.  https://www.dspe.nl/members/

12 hours ago, baumanets said:

П.С. alexunder расскажи о технологии сквозной палладиевой металлизации отверстий плат. Есть ли рецептура в открытом доступе?

Конечно, начиная от ветхозаветных советских руководств, типа "Типовые технологические процессы производства многослойных печатных плат", кончая  пошаговой инструкцией как из контакта от пп3-40 получить 300 грамм раствора хлорида палладия.

Share this post


Link to post
Share on other sites

  

5 hours ago, baumanets said:

Да. 700кг полимергранита.

Да, кому ваш гранит нужен? - Никому!  

У стали модуль упругости больше она жёстче меньше подвержена деформации. Вибрации разве что загасить. Купи 8 кирпичей 4 снизу 4 сверху. 1800 рублей

Или свари пирог сталь алюминий. Из 10 слов будет не хуже, а может и лучше. Или под кузнечным прессом на брать слоёв столько сколько нужно. 

Но это бесполезна трата, так как у вас есть цепи обратная связь. По которым идёт коррекции перемещения.  

Blu-ray резак без всяких там гранитных блоков выжигает лазером 405 нм.  

Вот может посмотреть тут стоят гидравлические вибро гасители. При этом такой гаситель гасит в приделах 100-1000 Гц. Надеюсь пояснять что оптика тут чисто для понта. И медные провада отработают так же.    

1c864106-PPGT_Abbildung_Komponenten.jpg

 

 

Что касается литографа для нанометров что-то пока не найду все на мкм попадается. Видимо гуг запомнил что я MEMS искал. 

20 hours ago, yes said:

напишите в цифрах - предположу, что у него достижимо 10 микрон, в особо удачных случаях, а не 0.18 микрона. сейчас это уже сопоставимо с печатными платами - 70 микрон

Там меньше 10 мк

http://sam.zeloof.xyz/wp-content/uploads/2017/02/BEARS2.png[/img]

Share this post


Link to post
Share on other sites

4 hours ago, Pavia said:

Или свари пирог сталь алюминий. Из 10 слов будет не хуже, а может и лучше

Какая будет разница температурных коэффициентов расширения? Этот пирог при изменении температуры будет работать на манер биметаллического выключателя - щелкушки в утюге. Я не однократно видел как крутит и гнет при изменении температуры чугунные многотонные станины координатно-расточных станков. А тот чугун был специально состаренный, что-бы убрать внутренние напряжения после литья. Гранит старился миллионы лет. Для крупной особо точной точной оптики используют специальный сплав с практически нулевым ТКР. Называется Zerodur. Тот же ASML применяет деформируемые зеркала, в которых геометрия корректируется массивом пьезо приводов. 

Share this post


Link to post
Share on other sites

1 час назад, dpss сказал:

Называется Zerodur. 

По нашей номенклатуре Суперинвар?

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

2 часа назад, dpss сказал:

Тот же ASML применяет деформируемые зеркала, в которых геометрия корректируется массивом пьезо приводов. 

С предварительной калибровкой или с обратной связью?

 

1 час назад, baumanets сказал:

По нашей номенклатуре Суперинвар?

 

https://en.m.wikipedia.org/wiki/Zerodur

Не похоже на суперинвар. :boredom:

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

 

1 hour ago, dpss said:

Какая будет разница температурных коэффициентов расширения?

табл.bmp

1 hour ago, dpss said:

Этот пирог при изменении температуры будет работать на манер биметаллического выключателя - щелкушки в утюге.

Ну так мы по периметру будем сваривать, а не по площаде. И не тонкими листами, а толщиной по 10-15 мм Пусть перепад температуры от -50 °С до +150 °С  =  200 °С

1 м* (23-12)*10^-6*200=2٫4 мм это если вдоль. А если в высь то 50 мкм. 

Даже можно не сваривать, а просто положить 1 на другой с боку оставить зазоры обив мягким металлом или пластиком что-бы не разъезжались.

 

2 hours ago, dpss said:

А тот чугун был специально состаренный, что-бы убрать внутренние напряжения после литья. Гранит старился миллионы лет.

Дык мы про миниатюрные микросхемы говорим. Причём тут многотонные станины? А во вторых что бы перепада температур не было гораздо проще поставить обогреватель. 6000 рублей всё удовольствие. А что касается расточного станка, то там бабка(или суппорт) по станине ползает. Ещё наши деды знали, что их надо смазывать что-бы детали не нагревались. А отцы придумали фторопласт.  Сделай направляющие фторопластовые, что бы они по станине ездили и не будет у тебя перегрева.

Пластмассы для токарки

2 hours ago, dpss said:

Тот же ASML применяет деформируемые зеркала, в которых геометрия корректируется массивом пьезо приводов. 

 Врятли пьеза скорее всего это DLP/DLD они управляются электромагнитным способом. 

 

Такие микросхемы можно достать в любом проекторе. Стоят они 35-50$

Собственно нам надо всего лишь заменить лампочку в проекторе. На подходящий нам лазер. И добавить пару линз для расширения пучка лазера. Баксов 100-1000$

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

10 hours ago, Pavia said:

что бы перепада температур не было гораздо проще поставить обогреватель. 6000 рублей всё удовольствие.

И какова будет не равномерность температуры? На разных поверхностях, в объеме? Знаете что такое термоконстантное помещение?

Фторопласт очень не обычный материал. Одно из его свойств - течь под механической нагрузкой. Это используют, делая из него уплотнения, тот же ФУМ, но опоры скольжения из него не будут давать точности. Про смазку. Толщина масляной пленки в направляющих скольжения может доходить до нескольких микрон и она зависит от скорости движения, вязкости масла, температуры. Этот эффект  знают шлифовщики когда при остановке шлифовального станка стол "проваливается" из-за убегания масла. Как альтернативу шарикам и роликам применяют аэростатические и гидростатические направляющие. Кстати, во всем мире в микроэлектронике стараются уйти от паров масла. Турбомолекулярные насосы с динамическим магнитным подвесом, гелиевые крионасосы, спиральные сухие форвакуумные насосы используют именно по этой причине. В сети можно найти довольно много статей с описанием координатных столов для полупроводниковых пластин на магнитной левитации, на деформируемых элементах с пьезоприводами, на линейных двигателях типа звуковая катушка. Да хоть на том же бесплатном  researchgate.net поискать.

Гыы... Глупый вопрос. Как  будете оценивать чистоту  оборудования?  У Вас есть лазерный счетчик пыли субмикронного размера?

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

1 hour ago, dpss said:

Фторопласт очень не обычный материал. Одно из его свойств - течь под механической нагрузкой.

И что там большая нагрузка? Масло ещё сильнее течёт под нагрузкой. Замените фторопласт, на углепластик. А сверху напылите фуллереном. Сферы дадут распределение нагрузки и уменьшат нагревание. Истирание о метал будет минимальным.

1 hour ago, dpss said:

Знаете что такое термоконстантное помещение?

Нет почитал в интернете. Пишут то это помещения применяются для измерения первичных эталонов.  Разве они ещё для чего-то используются? Плюс делятся на несколько классов.  На самом деле там столько мифов и заблуждений, что просто поржал над этим. 

1 hour ago, dpss said:

Кстати, во всем мире в микроэлектронике стараются уйти от паров масла.

Ну правильно. Минимизируем риски при массовом производстве. Но когда у тебя лабораторное оборудование ты минимизируешь цену. Тебе не нужно 1 миллион пластин в месяц как у Интела или TSMC тебе достаточно делать 1-10 пластин в месяц.  По толстым нормам 180 нм. 

 

1 hour ago, dpss said:

Турбомолекулярные насосы с динамическим магнитным подвесом, гелиевые крионасосы, спиральные сухие форвакуумные насосы используют именно по этой причине.

 http://www.npk-zme.ru/catalog/plastinchato-rotornye-maslouplotnyaemye-nasosy-dvukhstupenchatye/

:girl_cray2::download: Масляно уплотняемый форвакуумный насос. Этот точно брать не буду, так как магнитный подвес вещь дешёвая. 

 

 

Edited by Pavia

Share this post


Link to post
Share on other sites

3 hours ago, Pavia said:

Этот точно брать не буду, так как магнитный подвес вещь дешёвая. 

Скучно мне с Вами общаться, мы говорим на разных языках, хоть и на русском. На этой неделе была выставка Вакуумтехэкспо https://www.vacuumtechexpo.com/ru-RU/

Вы бы там народу рассказали, как с помощью палки и веревки с нанометрами управляться, а то кругом дураки, слишком сложно и дорого делают.:blum:

 

Оптику делает Карл Цейс и они молчат про подробности. Нашел только такую картинку.

В одном из номеров журнала на который я давал ссылку есть довольно подробная статья про деформируемое зеркало телескопа для спутника. Получаемые точности у него сопоставимы с литографией.

 

 

slide_6.jpg

 

 

Для общего понимания https://www.researchgate.net/publication/320438600_High-NA_EUV_lithography_enabling_Moore's_law_in_the_next_decade

Share this post


Link to post
Share on other sites

 

On 4/18/2021 at 2:50 PM, dpss said:

Оптику делает Карл Цейс и они молчат про подробности. Нашел только такую картинку.

В одном из номеров журнала на который я давал ссылку есть довольно подробная статья про деформируемое зеркало телескопа для спутника. Получаемые точности у него сопоставимы с литографией.

Вот подробности

https://www.euvlitho.com/2018/P22.pdf

https://www.euvlitho.com/2017/P23.pdf

https://www.euvlitho.com/2019/P24.pdf

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

Вот такие вот там пироги линзы.  Сверх точные меньше чем меньше чем самая большая гора на территории.  Из описания видно что применяется матрица зрачков для устранения аберраций. Да построена такая система на пьезо актуаторах. Ещё бы так как одно такое зеркало сантиметров 30.

 

1509721229_.thumb.png.eca2edae6046f1ed2f7c2876ea5a83ec.png

Alaluf, David; Bastaits, Renaud; Wang, Kainan; Horodinca, Mihaita; Martic, Grégory; Mokrani, Bilal; Preumont, André (2018). Unimorph mirror for adaptive optics in space telescopes. Applied Optics, 57(14), 3629–. doi:10.1364/AO.57.003629 

247047608_.thumb.png.7153a809c2c207eaf062d56e8c0d483b.png

 

 

Правда это экстремально глубокий ультрафиолет EUV для  1-14 нм литографии. Когда как для 180 нм достаточно обычного EV оборудования. Изучив весь интернет нашёл кучу лабораторий и заводов изготовителей.  Это говорит о одном что каждая фирма делает под себя свое оборудование. На самом деле полно статей как самим такое изготовить. Если покупать готовое лабораторное оборудывание для ручного изготовления обойдется 150  тысяч долларов.

Edited by Pavia

Share this post


Link to post
Share on other sites

28 minutes ago, Pavia said:

Вот такие вот там пироги линзы. 

К чему здесь всё это?? Никто не собирается делать такой станок в РФ (хотя в начале 2000х были поползновения, в частности, об источнике 13.5нм).

Тут тема про колхозную технологию 180нм.

Share this post


Link to post
Share on other sites

On 4/16/2021 at 11:32 PM, alexPec said:

Вот для этого и интересуюсь :) Как раз имеется хороший контакт с университетом. А там спрашивают "сколько?".

Закладываться нужно только если собираетесь получать прибыль с такого производства. Нет никакого смысла в простом выпуске цифровых схем по 180нм, если это неприбыльно. Если же Вам просто интересно, как оно работает, т.е. сам процесс, то проще устроиться технологом на существующие предприятия в РФ.

 

On 4/16/2021 at 11:32 PM, alexPec said:

Ну про 180нм понятно - видимо, слишком серьезная технология для реализации в лаборатории. 1,5-2мкм - слишком грубо. 

"реализовать в лаборатории" - очень абстрактно. Лаборатория даже для 1.5 мкм нужна приличная. Вот я работал в чистых помещениях, где был выпуск InGaAs матриц по нормам 1.5-2 мкм (фирма Xenics), там несколько помещений, все имеют под собой (этажом ниже) общее помещение поддержки, где стоит завод для производства дистилированной воды, бочки с жидким азотом для генерации азота газообразного. В самом клианруме несколько ветбенчей для сырых процессов, комната для литографии с двумя Karl SUSS MA8, бенчами для проявки, нанесения резиста и т.п. Что там еще? Сухое травление, металлизация (испарители и плазма, причем, не старорежимные ВУПы, а мультикамерные установки, хоть и для мелких пластин). Это я не упомянул чистые реактивы, резисты, растворители и стоимость всего этого, работающего 24/7. И это для мелкосерийного производства, т.к. ИК-матрицы это не хлеб и водка, их каждый день не покупают. У Вас есть хотя бы нечто такое на примете?

 

On 4/16/2021 at 11:32 PM, alexPec said:

А что насчет 350/250нм ? Кардинально оборудование по эти нормы отличается от 180нм

Нет, оборудование во многом практически одно и тоже.

On 4/17/2021 at 12:20 AM, baumanets said:

П.С. alexunder расскажи о технологии сквозной палладиевой металлизации отверстий плат. Есть ли рецептура в открытом доступе?

Не знаком с этим. Про PCB было сказано в контексте домашней лаборатории: делать печатные простенькие платы дома это еще понятно (иногда даже бывает коммерчески выгодно, например, быстрое прототипирование), а транзисторы и ИС, как в том любительском видео, бессмысленно.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Join the conversation

You can post now and register later. If you have an account, sign in now to post with your account.

Guest
Reply to this topic...

×   Pasted as rich text.   Paste as plain text instead

  Only 75 emoji are allowed.

×   Your link has been automatically embedded.   Display as a link instead

×   Your previous content has been restored.   Clear editor

×   You cannot paste images directly. Upload or insert images from URL.

×
×
  • Create New...