[baumanets 12]

Собственно меня интересует как калибровать synopsys TCAD под заданный техпроцесс, и какие данные необходимо снимать с установок диффузии, ионного легирования, термического отжига и т.д.

(Установки ещё с советских времён.)

[Rikky 0]

а какая версия дистрибутива?

 

насколько я знаю калибруется по профилям

[baumanets 12]

Версия дистрибутива 10

[KriegerNsk 0]

я делаю как...беру технологическую карту нужной операции, например разгонка р-кармана, делаю последовательно операции загрузки, нагрева, окисления, перераспределения примеси, по заданным в карте временам и температурам, и проверяю контролируемые параметры, как правило это толщина окисла, если есть окисление, Rs, и глубина p-n - перехода. если все это попало в "ворота" то дальше в любом маршруте где есть эта операция - копи-паст и все. Если какой то из параметров не попадает в нормы, то начинаются танцы с бубном, а именно меняю среду, парциальные давления газовой смеси, или потоки газов, если не хватает толщины окисла то добавляю воду. Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)

Изменено 22 августа, 2010 пользователем KriegerNsk

[R1kky 0]

Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)

 

или наоборот советские установки под TCAD =)

в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама

[baumanets 12]

или наоборот советские установки под TCAD =)

в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама

Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb

Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?

Изменено 25 августа, 2010 пользователем baumanets

[R1kky 0]

Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb

Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?

 

огромный pdbSet в помощь

[baumanets 12]

огромный pdbSet в помощь

я это и без тебя знаю. Меня интересуют те, кто крутил их параметры.

[R1kky 0]

Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb

Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?

 

правильно ли я понял, что ты хочешь проверить соответствие профилей после диффузии промоделированный и практический?

т.е. у тебя они не совпадают,верно?

[baumanets 12]

правильно ли я понял, что ты хочешь проверить соответствие профилей после диффузии промоделированный и практический?

т.е. у тебя они не совпадают,верно?

Да.

[KriegerNsk 0]

по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения

[baumanets 12]

по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

[parex 0]

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

По CV на FATFET например можно профиль получить.

[SKLF 0]

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

http://epiel.ru/ru/ - снимет точно, начёт цены не знаю, но думаю не особо дорого, ибо они этых профилей делают великое множество.

[nikolascha 0]

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

Хоть вопрос уже устарел, но в Минске в НТЦ "Белмикросистемы" таким делом успешно занимается подразделение "Белмикроанализ".