[alexPec 3]

Всем доброго дня.

Была у меня давно мысль организовать в университете лабораторию полупроводниковой технологии. Недавняя информация сподвигла написать этот пост.

А узнал вот что: оказывается, у нас в городе, на одном из заводов, лежало оборудование для полного цикла производства чипов по нормам 3мкм. Законсервированное.  Начали узнавать, смотреть - ну и как обычно: многих установок вообще нет, а то что осталось, уже разобрано до невосстанавливаемого состояния. Что-то говорят просто в металл сдали. Раздербанили где-то говорят в 2000-х.

Так вот может кто знает/подскажет, нельзя ли где-то найти подобного уровня оборудование, чтобы воссоздать технологию, для учебного процесса. Понятно, что очень большие деньги, как за новое, универ в наше время заплатить не сможет, но по крайней мере хочется понять, каких денег это вообще в наше время может стоить и существует ли вообще старое, но рабочее (пригодное для изготовления) оборудование? А то поди лежит так же на каком нибудь заводе старое - и продать некому (ну или лень искать кому), и выбросить жалко. А в итоге все равно будет выброшено.

[ZwergNase 0]

Напишите в Минпромторг, а если не ответят - продайте китайцам. Им такое тоже может понадобиться.

https://russianelectronics.ru/2022-04-20-czeny/

[baumanets 12]

Для начала поищите. ЭМ-589, ЭМ-5009, ЭМ-584. Для фотошаблонов.

"ты не поверишь, всё украдено до нас"

Если новое, есть белорусские линии.

https://docplayer.com/26792798-Optiko-mehanicheskoe-oborudovanie-dlya-formirovaniya-i-kontrolya-topologicheskih-struktur-na-fotoshablonah.html

https://www.electronics.ru/files/article_pdf/0/article_199_233.pdf

Запросите КП и оцените масштаб вложения в литографию.

Линии ищите под 100-мм диаметр пластин. Это последнее, что при СССР было отработано.

 

Жидкостное травление ищите RCA etch в гугле, и вы должны узнать что такое КАРО и ПАР.

 

Нормальной термической диффузии с газами и ионной имплантации у нас не было никогда.

Только западное б/у или новое с их развалов и ввозом через третьи страны.

 

Для травления/осаждения/напыления - есть продукция НИИТМ.

 

Две ключевые технологии, без которых невозможно ничего воспроизводимого это литография и легирование.

Остальное не так дорого стоит и добывается, хоть и в муках.