BarsMonster 0 29 апреля, 2012 Опубликовано 29 апреля, 2012 · Жалоба Вынесу вопрос в отдельный топик: Я правильно понимаю, что проявители для фоторезистов - основной источник загрязнения кремния мобильными ионами (натрий/калий), но на производстве об этом не переживают, а просто хлором/соляной кислотой/трихлорэтиленом связывают? Начиная с какой ноды начинают использовать неметаллические проявители (на основе TMAH)? Я правильно понимаю, что его не используют везде из-за его высокой цены? Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
