Я уточнил на заводе в Китае - наши могут делать лазерные отверстия диаметром от 3 mil, т.е. 75 мкм.
Немного недотягивает до 50 мкм. К тому же, я думаю, диаметр отверстия обеспечивается с довольно немаленьким допуском.
Вот, собственно, ответы:
We are using UV laser,
a. The laser drill size is 3~6mil, 4mil is prefered;
b. No path needed for UV laser as it can go through copper and FR-4;
c. The laser drill is round shape;
d. We drill directly to the copper;
e. Cleaning of the hole can be solved by plasma process.
Спасибо. Пока продолжаем поиски на западе и востоке по 0,05 мм диаметрам.