[evi 0]

Здорово что еще есть такие энтузиасты. Я лет 20 назад двулучепреломляющий интерферометр сделал на кухне после того как наш НИИ закрылся, а потом лицензию продал на канадскую фирму. Потом, уже заграницей, дома сделал пространственный фурье-спектрометр, получилась оригинальная статья по оптике. Больше на такие подвиги не пойду, старый стал, но я к тому что если есть энтузиазм, то многое возможно.

 

Только я согласен с другими ораторами - интереснее делать что-нибудь новое, неисследованное, а не повторять уже пройденное. Маловероятно что из этого выйдет коммерческий результат, но научный вполне может.

 

У меня есть одна никем неопробованная идея на стыке полупроводников и оптики которую я на своей фирме не могу реализовать, в силу главным образом моей лени, а также отсутствия коммерческого интереса. Если интересно пишите в личку.

[BarsMonster 0]

Печь

Если вам интересно, могу вечерком скинуть фотки самодельной RTA печи, которой уже 25 лет :) у нас она в экспериментальном грязном отделе. Безотказная штука :)

 

Интересно )

 

Для нагрева жидкостей (растворителей и пр.) может пригодиться плитка с термостабилизацие по измерительному зонду в самой жидкости.

Довольно легко делается - возьмите опять-таки термопару и заведите ее на простенький PID контроллер. Между температурой плитки и к примеру жидкостью в банке на плите будет немалая разница (до 20 град Ц.), поэтому важно контроллировать Т в жидкости.

Делается то понятно что легко, но идея датчик полоскать в чистых растворах мне не очень нравится )

 

Металлизация

Согласен, серебро не айс. Если у вас под рукой есть где достать форвакуумный насос и какую-нибудь маломальски герметичную пластиковую камеру то можно сконструировать миниатюрный PVD/sputter, придется собрать генератор для возбуждения плазмы. Например, такие устройства используют для SEM-микроскопов, чтобы нанести пару нанометров металла и сделать образец проводящим. В вашем случае можно пропускать ток через алюминиевую мишень... Вечером пришлю фотки такого девайса.

Да, проблема только в том, что тогда lift-off почти невозможен - т.к. маска не оставит тень - металл прилетает со случайных направлений.

Для электронного микроскопа это как раз и нужно, а тут - только если металл травить потом (т.е. +1 мокрая операция)

Если уж вакумный насос иметь, то можно и испарять уже...

 

Литография и маски

Пузыри размером с десятки микрон, т.к. на них рассеивается свет во время экспозиции. У нас народ для этих целей искал транспарант какой-то "безпузырёвый" даже.

А насчет 100 мкм я имел ввиду не просто feature size (будем оперировать терминами VLSI :)), а то что рисунок будет довольно грубым имхо. Впрочем если у вас получаются ровные (с неровностью не более 30 мкм) дорожки, буду рад посмотреть (можете нацепить на микроском веб-камеру :)).

 

Это уже на пленке, ацетончиком подгладить и вообще красота будет:

[alexunder 4]

Интересно )

к сожалению только завтра :(

 

Делается то понятно что легко, но идея датчик полоскать в чистых растворах мне не очень нравится )

Согласен, но обычно на зонд нацепляется стеклянный колпак, который заведомо чистый (ну или его можно почистить в aqua regia + piranha).

 

Да, проблема только в том, что тогда lift-off почти невозможен - т.к. маска не оставит тень - металл прилетает со случайных направлений.

Вы правы насчет покрытия - оно действительно однородное (conformal), лифт-офф идет сложнее, но для вас это не проблема. Я постоянно делаю лифт-офф с образцами, металлизированными на PVD. Причем, у меня толщина резиста 1...1,5 мкм (обычный i-line резист), а толщина металла иногда достигает 200 нм. Конечно процесс идет сложнее нежели с испаренным металлом, на помощь приходит пипетка, а если уж совсем плохо - то ультразвук.

В вашем случае резист очень толстый (типовая толщина резистов для ПП от 7 до 12 мкм) поэтому даже для толстых слоев металла все будет прекрасно слезать, уверяю. Здесь большую роль играет температура растворителя (ацетона), когда она близка к Т кипения, возникает эффект кавитации, что в значительной степени ускоряет лифт-офф.

 

 

Это уже на пленке, ацетончиком подгладить и вообще красота будет:

каков масштаб?

[BarsMonster 0]

Вы правы насчет покрытия - оно действительно однородное (conformal), лифт-офф идет сложнее, но для вас это не проблема. Я постоянно делаю лифт-офф с образцами, металлизированными на PVD. Причем, у меня толщина резиста 1...1,5 мкм (обычный i-line резист), а толщина металла иногда достигает 200 нм. Конечно процесс идет сложнее нежели с испаренным металлом, на помощь приходит пипетка, а если уж совсем плохо - то ультразвук.

В вашем случае резист очень толстый (типовая толщина резистов для ПП от 7 до 12 мкм) поэтому даже для толстых слоев металла все будет прекрасно слезать, уверяю. Здесь большую роль играет температура растворителя (ацетона), когда она близка к Т кипения, возникает эффект кавитации, что в значительной степени ускоряет лифт-офф.

Резист для PCB - если и будет - то только в самом начале. Затем такой же заводской как и у вас, на микрон.

Ок, буду пробовать тогда наверное. А кремний грешным делом получается также наносить напрямую, без силана? Все-таки самосовмещенные затворы полезные штуки...

 

каков масштаб?

 

ширина кадра - 1мм, там черточки есть (мелкие черточки по 5 микрон правда не увидеть через вебкамеру).

[Leka 0]

Для "кухни" я бы посоветовал подумать про многотактную динамическую логику и n-МОП технологию с кольцевыми транзисторами - без толстого окисла, и с "затворными" охранными кольцами. В этом случае можно заказать на заводе пластины со сплошным готовым затвором (и подзатворным окислом), и понадобятся только 3 маски: стоки-истоки, контактные окна, разводка.

[BarsMonster 0]

Или я где-то ошибаюсь, или это слишком хорошо чтобы быть правдой:

 

http://www.ampika.ru/oborudovanie.html?id=8670

 

0,13 Па за пол тыщи $, а при 0.13 Па если я нигде не путаю - средняя длина пробега >10см => испарение металла / sputtering deposition должно работать... ?

 

Для "кухни" я бы посоветовал подумать про многотактную динамическую логику и n-МОП технологию с кольцевыми транзисторами - без толстого окисла, и с "затворными" охранными кольцами. В этом случае можно заказать на заводе пластины со сплошным готовым затвором (и подзатворным окислом), и понадобятся только 3 маски: стоки-истоки, контактные окна, разводка.

 

К сожалению, это слишком экзотично, проектировать топологию относительно сложно + существующие дизайны нельзя использовать (например 4004 ;-) )

PS. Интересно, а маски КР580ВМ80А где-нить достать можно? )

[Leka 0]

К сожалению, это слишком экзотично, проектировать топологию относительно сложно + существующие дизайны нельзя использовать (например 4004 ;-) )

На мелком производстве (не "на кухне"), более-менее стандартная n-МОП делается ~~2 недели, КМОП - ~~2 месяца, а то что выше описал - думаю, ~~2 дня.

 

 

[DS 0]

Или я где-то ошибаюсь, или это слишком хорошо чтобы быть правдой:

 

Такие насосы (и паромасляные) в огромных количествах в НИИ валяются в подвалах. Цена обычно бутылка коньяку. Придется, конечно перебрать все аккуратно. Я месяц назад по причине подготовки к переезду в другое здание подарил соседям валявшийся под столом ВМН-500 в заводской смазке, правда без инвертора. Там, где есть вакуумная техника, старые насосы не представляют никакой большой ценности, сейчас в моде Varianы размером с банку тушенки.

При наличии жидкого азота можно с помощью форвакуумного насоса откачиваться до 10e-3 торр.

[BarsMonster 0]

Там, где есть вакуумная техника, старые насосы не представляют никакой большой ценности, сейчас в моде Varianы размером с банку тушенки.

Эт понятно, ни у кого нет времени возиться ) Да и я не особо дружу с механикой, чтобы засучив рукава взяться за приведение в рабочее состояние старого насоса (которые зачастую еще и весят ппц сколько - одна перевозка по Москве 10% цены нового ))) )

 

Потому вероятно буду пробовать с упомянутой выше моделью - на форуме вакуумщиков говорят что напыление алюминия получится, если он действительно до 0.13Па откачивает.

Проблема пока остается только в вакуумной камере.

[DS 0]

На такое давление сработает стеклянный колпак на подставке, как в школе. Самопальные напылительные установки часто так выглядят. Форвакуум, кстати, можно утащить в рюкзаке без особых проблем.

[alexunder 4]

Проблема пока остается только в вакуумной камере.

Насос, про который вы спрашивали сгодится. Вакуумные зап. части конечно придется либо достать на каком-нибудь заводе, либо купить...

В принципе, как сказал DS, на такое давление и вправду сгодится простая камера из стекла или оргстекла. Те присопособы для SEM обычно имеют пластиковый корпус.

 

Насчет самодельной печи смотрите ПДФку прикрепленную. Извините за никудышное оформление - из меня дизайнер никакущий:))

Максимальный нагрев - 700 С. Для ваших температур используют похожий дизайн (как-то приходилось разбирать промышленную печь, работающую до 1000С), но опять-таки, я не уверен что это лучше чем обычные ТЭНы.

rta_schematic.pdf

Изменено 8 мая, 2011 пользователем alexunder

[BarsMonster 0]

Насчет самодельной печи смотрите ПДФку прикрепленную. Извините за никудышное оформление - из меня дизайнер никакущий:))

Максимальный нагрев - 700 С. Для ваших температур используют похожий дизайн (как-то приходилось разбирать промышленную печь, работающую до 1000С), но опять-таки, я не уверен что это лучше чем обычные ТЭНы.

 

Спасибо за схему, выглядит обнадеживающе... Поначалу я наивно думал, что смогу лампами нагревать вольфрамовую фольгу, и все )

 

Но оказалось, металлов которые при 900-1000 не реагируют с кислородом/водой нет (даже платина окисляется. Есть конечно золото, но оно уже плавится ) )

Потому между лампами и образцем остается ставить унылое кварцевое стекло.

По началу планирую лампы отдельно не охлаждать - они из кварца/керамики, от 300-600С не должны развалиться, а от перегрева нити накала должен спасти термостат.

 

Вопрос измерения температуры - все еще больной вопрос: датчики выше 500С чертовски редкая (и дорогая) штука оказалась.

Будем надеятся мой коварный план использовать обычную галогенку как датчик температуры прокатит, главное чтобы температура образца и лампы не сильно отличались :-)

 

[alexunder 4]

BarsMonster,

я там глупость написал в PDF - лампа не спиралевидная(!), там несколько галогенок парраллено стоят. Прошу извенить.

 

Потому между лампами и образцем остается ставить унылое кварцевое стекло.

Да, причем лучше именно кварц, т.к. он прозрачнее в ближнем ИК диапазоне чем стекло.

 

Вопрос измерения температуры - все еще больной вопрос: датчики выше 500С чертовски редкая (и дорогая) штука оказалась.

Будем надеятся мой коварный план использовать обычную галогенку как датчик температуры прокатит, главное чтобы температура образца и лампы не сильно отличались :-)

У меня когда-то был китайский M890G, судя по х-кам термопары он мог работать до 1000 С. Я никогда не проверял, но, если не ошибаюсь, для термопар такого типа это вполне нормально. Точность +-10 градусов для вас сгодится.

[BarsMonster 0]

У меня когда-то был китайский M890G, судя по х-кам термопары он мог работать до 1000 С. Я никогда не проверял, но, если не ошибаюсь, для термопар такого типа это вполне нормально. Точность +-10 градусов для вас сгодится.

 

Это он с радостью покажет 1000C на абстрактной термопаре К-типа, а та термопара что в комплекте - имеет пластиковые детали, и даже 300С ей не пережить...

Таких-то у меня пара есть...

 

[BarsMonster 0]

Узнал цены на кварцевое стекло. Я в печали. От 2-300$ за кусочек порядка A4... Надо что-то думать...