[ElecTime 1]

Согласно недавнему прогнозу World Fab Forecast, выпущенному Международной организацией производителей полупроводникового оборудования (SEMI), более 50% брака при тестировании полупроводниковых пластин объясняется микрозагрязнением. Для минимизации потерь важно, чтобы заводы по производству полупроводников соблюдали стандарты контроля загрязнения в чистых помещениях. Так как любые твердые частицы являются одним из основных источников микрозагрязнения в производственных процессах, их необходимо постоянно контролировать и оперативно удалять.
Для контроля твердых частиц в чистых помещениях Cubic предлагает онлайн-счетчик частиц OPC-6510DS, который разработан для контроля чистоты воздуха в чистых помещениях и может использоваться на заводах по производству полупроводников (полупроводниковых фабриках).

Счетчик OPC-6510DS точно обнаруживает и подсчитывает количество частиц разного размера в воздухе на единицу объема. Устройство может одновременно выводить количество частиц по 5 каналам >0,3 мкм, >0,5 мкм, >1,0 мкм, >5,0 мкм, >10 мкм в шт/28,3 л или шт/м³. На экране в режиме реального времени могут отображаться данные мониторинга, класс чистоты помещения ISO14644-1 2015 и подавать сигнал тревоги, когда количество частиц превышает установленный порог. Сенсорный экран также поддерживает установку единицы вывода, канала отображения, порога тревоги по концентрации, коэффициента, языка, рабочего времени, MQTT и т. д.

 

 

Функционал

• Количество частиц на выходе 0,3 мкм, 0,5 мкм, 1,0 мкм, 5,0 мкм, 10 мкм в режиме реального времени в шт/28,3 л или шт/м³.

• Звуковая и световая сигнализация при превышении установленного порога количества частиц.

• Доступны протоколы связи ModBus и MQTT.

• Система отбора проб газа с постоянным расходом для обеспечения стабильного отбора проб. • Лазер промышленного класса для высокой надежности.

• Доступна коррекция калибровочного коэффициента по сравнению со стандартным оборудованием.

• Отображение в режиме реального времени чистых помещений уровня ISO 14644-1.

Технические характеристики

• Принцип работы: лазерное рассеяние

• Диапазон измерения: 0~1 000 000 шт/ 28,3 л. и шт/м³.

• Выходные каналы: >0,3 мкм, >0,5 мкм, >1,0 мкм, >5,0 мкм, >10 мкм

• Время до первого чтения: ≤ 8 секунд

• Время обновления данных: 1 секунда.

• Рабочее напряжение: 24 В постоянного тока ± 15 %

• Средний рабочий ток: ≤3A

• Коммуникационный протокол RS485, Modbus, MQTT.

• Химически стойкий уровень защиты

Подробное описание. Посмотреть.

Рекомендации к применению: для чистых помещений, для фармацевтической промышленности, для сельского хозяйства и пищевой промышленности, для косметической промышленности

Дистрибьютор в России: Компания Газсенсор www.gassensor.ru

Представитель в РФ Илья Шевелёв [email protected] (495) 123-45-14 Доб: 118

Ознакомится с обзорным каталогом газоанализаторов компании CUBIC.