[BarsMonster 0]

Подскажите,

Есть ли отечественные производители spin-on dopants & glass?

Или зарубежные в крайнем случае...

 

Положительный опыт работы видел только с Emulsitone - но они похоже уже умерли.

 

Как по-русски называется Spin-on dopant и Spin-on glass?

[eugeny_bt 0]

Похоже, что у Honeywell:

 

https://www51.honeywell.com/sm/em/common/do...n-on_dopant.pdf

[BarsMonster 0]

Похоже, что у Honeywell:

 

https://www51.honeywell.com/sm/em/common/do...n-on_dopant.pdf

 

Honeywell это да, но от них ответа мне пока добиться не удалось - и это они еще не знают, что я физическое лицо....

 

[eugeny_bt 0]

Интересно, насколько отличаются по ценам обычные источники примести и эти самые spin-on dopants, неужели большая разница? А смысл, насколько понимаю, в том, что при spin-on dopants слои получаются более равномерные и моделировать их профиль проще?

[BarsMonster 0]

Интересно, насколько отличаются по ценам обычные источники примести и эти самые spin-on dopants, неужели большая разница? А смысл, насколько понимаю, в том, что при spin-on dopants слои получаются более равномерные и моделировать их профиль проще?

Spin-on dopants - по цене расходников на пластину - не дешевле, даже скорее наоборот (но это копейки).

 

По сравнению с ионной имплантацией - не нужно дорогое оборудование (достаточно spin coater-а и печки), но само собой ионную имплантацию ими заменить нельзя.

По сравнению с дифузионным легированием из газовой среды - как раз равномерность и повторяемость хорошие, расходники менее токсичны. По цене - не уверен что тут большая разница выйдет.

 

Поскольку мне работать нужно в условиях колхоза - это единственный относительно реальный путь.

[sherr 0]

Поскольку мне работать нужно в условиях колхоза - это единственный относительно реальный путь.

Может в условиях колхоза лучше начать с самодельного состава - например модифицировать фосфатными группами какой- либо кремнийорганический лак (это так, навскидку), очень аккуратно нанести на центрифуге и выжечь в печке ...

Органика выгорит, кремний с фосфором дадут относительно легкоплавкое стекло, из которого пойдёт диффузия .Подобным же образом,

наверное, можно поступить и с бором, но там чуть сложнее ...

[BarsMonster 0]

Может в условиях колхоза лучше начать с самодельного состава - например модифицировать фосфатными группами какой- либо кремнийорганический лак (это так, навскидку), очень аккуратно нанести на центрифуге и выжечь в печке ...

Органика выгорит, кремний с фосфором дадут относительно легкоплавкое стекло, из которого пойдёт диффузия .Подобным же образом,

наверное, можно поступить и с бором, но там чуть сложнее ...

 

Боюсь, это слишком широкое и не сильно интересное поле для деятельности :-)

На черный день у меня всегда остается BBr3 и POCl3.

[sherr 0]

Боюсь, это слишком широкое и не сильно интересное поле для деятельности :-)

На черный день у меня всегда остается BBr3 и POCl3.

Ну каждый судит со своей колокольни, а у меня диплом химика-органика и три года работы на заводе, где делали фоторезисты -

вот там и пластин было море, и печки, и центрифуги ... чего и вам желаю (оффтоп) :rolleyes: