Из-за большого числа составляющих и сложности процесса расчета размещения микрофона в устройстве, с учетом влияния расположения на частотную характеристику микрофона, компания STMicroelectronics рекомендует использовать специализированную среду COMSOL для моделирования частотной характеристики MEMS-микрофонов.
В статье приведены примеры моделирования в разработанной компанией STMicroelectronics среде COMSOL, демонстрирующие основные рекомендации по проектированию и выбору материала прокладки для MEMS-микрофонов.
Читать статью>>