[khach 33]

Добрый день.

Срочно понадобилось просветится по вопросам использования лазерного степпера (прямая запись на фоторезист лазерным лучем). Как следует из документации входные файлы должны быть в формате CIF (Caltech Intermediate Format). Описание вроде нашел, там все просто. Но редактор этого формата, который шел в комплекте со степпером, извините, ниже плинтуса по своим пользовательским качествам. Что можете посоветовать в качестве софта для подготовки литографии? Сразу скажу, это не кремний с его нанометрами- материалы и технологии совсем другие.

И второй вопрос- в начале и конце вектора степпер пересвечивает фоторезист (получается жирная точка). Можно ли задать время от начала движения луча до включения лазера в файле CIF?

[zzzzzzzz 0]

В cif умеет экспортировать Таннер. Рисовалка у него близка к идеалу.

Не уверен, что в cif есть что-то, кроме как геометрическая информация, управлять построителем представляется из этого формата проблематично.

Наверное, есть какой-то штатный переходник из cif в команды для перемещения луча - иначе как засветить, например, прямоугольник, описанный двумя парами координат?

У Таннера раньше была версия софта MEMS CAP, заточенная под рисование микромеханических узлов. С кучей примитивов типа шестерен, спиралей и т.п.

 

А формат, действительно, прикольный. Как-то даже кусок топологии на нем писал, когда надо было автоматизировать большой объем операций размещения фигур.

[soshnev 0]

Добрый день.

Срочно понадобилось просветится по вопросам использования лазерного степпера (прямая запись на фоторезист лазерным лучем). Как следует из документации входные файлы должны быть в формате CIF (Caltech Intermediate Format). Описание вроде нашел, там все просто. Но редактор этого формата, который шел в комплекте со степпером, извините, ниже плинтуса по своим пользовательским качествам. Что можете посоветовать в качестве софта для подготовки литографии? Сразу скажу, это не кремний с его нанометрами- материалы и технологии совсем другие.

И второй вопрос- в начале и конце вектора степпер пересвечивает фоторезист (получается жирная точка). Можно ли задать время от начала движения луча до включения лазера в файле CIF?

 

В качестве редактора действительно подойдёт Tanner(L-Edit).

 

По второму вопросу - надо искать способ описания, например рисовать не полигонами (векторами) (последняя точка совпадает с первой) а прямоугольниками.