Перейти к содержанию
    

Вопрос по TCAD

Здравствуйте.

Разбираюсь с Sentaurus TCAD 2012.

Пробую делать диод на основе p-n перехода: https://vk.com/doc2272082_323153276?hash=6a...7b8a769437b8604

Все что написано в инструкции получается. Но захотелось поексперементировать.

После нанесения алюминия добавил в конец командного файла строчку:

 

diffuse time=10 temp=900

 

А диффузия алюминия в кремний не происходит. Пробовал нагревать до 1200 градусов на протяжении 60 минут - все равно ничего не меняется.

Скажите пожалуйста, почему алюминий не дифундирует в кремний? Что делаю не так?

 

--

С уважением,

Короткий Женя

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Чтобы посмотреть как алюминий будет диффундировать в кремний его нужно имплантировать, возникнет область p-типа проводимости. Но если нужен контакт, то можно сформировать силицид на основе (Ta, Co, W, Ti, Pt, Mo), металл сначала осадить, а затем отжечь.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете написать сейчас и зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, авторизуйтесь, чтобы опубликовать от имени своего аккаунта.

Гость
Ответить в этой теме...

×   Вставлено с форматированием.   Вставить как обычный текст

  Разрешено использовать не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отображать как обычную ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставлять изображения напрямую. Загружайте или вставляйте изображения по ссылке.

×
×
  • Создать...