SamuraY 0 2 августа, 2015 Опубликовано 2 августа, 2015 · Жалоба Здравствуйте. Разбираюсь с Sentaurus TCAD 2012. Пробую делать диод на основе p-n перехода: https://vk.com/doc2272082_323153276?hash=6a...7b8a769437b8604 Все что написано в инструкции получается. Но захотелось поексперементировать. После нанесения алюминия добавил в конец командного файла строчку: diffuse time=10 temp=900 А диффузия алюминия в кремний не происходит. Пробовал нагревать до 1200 градусов на протяжении 60 минут - все равно ничего не меняется. Скажите пожалуйста, почему алюминий не дифундирует в кремний? Что делаю не так? -- С уважением, Короткий Женя Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
dvladim 0 4 августа, 2015 Опубликовано 4 августа, 2015 · Жалоба А ничего, что уже при 660 алюминий расплавится? Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
nilot 0 17 августа, 2015 Опубликовано 17 августа, 2015 · Жалоба Чтобы посмотреть как алюминий будет диффундировать в кремний его нужно имплантировать, возникнет область p-типа проводимости. Но если нужен контакт, то можно сформировать силицид на основе (Ta, Co, W, Ti, Pt, Mo), металл сначала осадить, а затем отжечь. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться