EUrry 3 11 августа, 2018 Опубликовано 11 августа, 2018 · Жалоба Приветствую, коллеги! Интересует стандартизованный способ, описание чертежа/эскиза фотошаблона-теста, если таковые имеются. Интересующая область - микроэлектроника, но если что-то подобное имеется в технологии печатных плат - не побрезгую посмотреть для аналогии. "Своим" придуманным способом сделать фотошаблон-тест всегда можно. Покопавшись в Интернете, как минимум три направления выделил: 1) Разрешающая способность фоторезиста определяется числом линий равной толщины, которые могут быть получены без слияния на 1 мм поверхности подложки в результате проведения процесса фотолитографии (из какого-то пособия); 2) Разрешающую способность (минимальную ширину воспроизводимого элемента) определяют путем получения контактным способом изображения фотошаблона-теста, контролируя геометрическую форму и размеры элементов (ГОСТ Р 52250 - Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. ОТУ); 3) Использование миры для проверки разрешающей способности объективов. Спасибо! Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
twix 0 11 августа, 2018 Опубликовано 11 августа, 2018 (изменено) · Жалоба Мне просто любопытно в чем смысл таких изысканий? Практически в деле самопальных печатных плат разрешение менее 0.15мм получается с трудом с фоторезистом. Совмещение переходных отверстий на уровне 0.1мм в бытовых условиях получить сложно. И наконец металлизированные отверстия практически недоступны в быту из за сложной и вредной химии. А менее 0.4мм вообще недоступны как класс. Так в чем смысл... Изменено 11 августа, 2018 пользователем twix Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
EUrry 3 11 августа, 2018 Опубликовано 11 августа, 2018 · Жалоба Мне просто любопытно в чем смысл таких изысканий? Практически в деле самопальных печатных плат ... Речь не идет о самопальных ПП. Речь идет об определении разрешающей способности технологического процесса. Меня интересует стандартизированный способ, описанный в ГОСТ или ОСТ, прежде всего касаемых микроэлектроники. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Палыч 6 13 августа, 2018 Опубликовано 13 августа, 2018 · Жалоба ГОСТ 27716 и ГОСТ Р 50562 не подойдут? Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
EUrry 3 13 августа, 2018 Опубликовано 13 августа, 2018 · Жалоба ГОСТ 27716 и ГОСТ Р 50562 не подойдут? Спасибо за информацию. К сожалению того, что ищу там нет. В любом случае отталкиваться надо будет от разрешающей способности фоторезиста. Может быть что-то в ТУ на фоторезисты есть, не смотрел еще. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться