Полное название параметров ps, pd - "Source diffusion periphery", "Drain diffusion periphery". Думаю, это периметр областей истока (стока) по сторонам диффузионной области, куда не входит сторона, примыкающая к затвору. Поэтому считают только одну ширину.
Вообще на практике увеличение ps, pd на одну ширину почти не влияет на результаты моделирования.
