Ключевое слово обычно... )
Плазмохимическое разложение силана (PECVD) - традиционный способ получения пленок а-Si:H. В ВЧ разряде молекулы силана в результате столкновений с горячими электронами диссоциируют на радикалы и потом эти продукты разложения осаждаются на подложку. Т.е. механизм доставки радикалов чисто диффузионный. В ряде исследований было показано что важную роль в формировании пленки а-Si:H играет радикал силил - SiH3. Из основных достоинств метода - относительная простота и высокое качество пленок. Главный недостаток - низкие скорости осаждения. Скорость пропорционально зависит от удельной мощности вкладываемой в разряд. Однако при больших мощностях качество пленок ухудшается.
Есть ряд других методов - струйный плазмохимический, струйный с активацией газа электронным пучком и др., они преследуют цель повысить скорость осаждения за счет направленного потока продуктов на подложку.
Аморфный кремний копают уже 40 лет... и полного понимания в вопросе формирования пленок на сегодняшний день, по моему, еще нет.
Из литературы можно указать следующие книги (там есть главы про приборы на основе а-Si:H):
Аморфные полупроводники (под ред. Бродски) М.: Мир, 1982.
Джоунопулос Дж., Люковски Дж. Физика гидрогенизированного аморфного кремния: Вып.1,Вып.2 1987.