Здравствуйте, Елизавета.
Критерии проверки фотошаблонов для Вашего случая могут быть следующими:
1. Оптическая плотность в чёрном и белом (это важно для операций фотохимии)
2. Отклонение линейных размеров (то есть расстояний между элементами - это для совмещения)
Оборудование для проверки - соответственно, прибор для определения оптической плотности (тип навскидку не помню, дошлю по мейлу, если надо), микроскоп измерительный (например, МИР-3) для локальных измерений, и координатный стол - для измерения ухода размеров. Причём, точность координатного стола должна быть не менее той, что необходима по максимальному классу точности плат Вашего производства.
Картотека эталонных фотошаблонов может быть необходима для военной приёмки - для тупого сравнения наложением, например. В случае же лазерного плоттера они, пожалуй, не нужны - но в документах должен быть прописан спецпроцесс отрисовки фотошаблона и должны быть результаты испытаний по повторяемости процесса отрисовки - тогда проверку размеров придётся производить всегда (то есть, при выдаче шаблона в производство), а проверку оптической плотности - только время от времени, либо при смене партии фотоплёнки.
А про паспорт - не подскажу. Сам не знаю.