Перейти к содержанию
    

Источник электропитания магнетронного распылителя на 6кВт

Вот решил собрать источник питания для такой штуки и столкнулся с проблемой не хватки описания такой нагрузки как магнетрон. Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.

Напряжение на нагрузке максимальное;

Мощность нагрузки;

Описание нескольких режимов:

Режим тренировки магнетрона

Режим постоянного тока магнетрона

Режим импульсного (даны частоты)

Режим дугогашения (время сняния напряжения)

Режим поджига

Еще пара статей где приводится вольт-амперная характеристика при определенных условиях (опред. материал мишени, опред. газ)

 

Но ничего не сказано о динамике и параметров импульсов, нет ничего конкретного по каждому режиму работы.. Я понимаю что вопрос очень специфический, но все же решил закинуть удочку вдруг кто попадется.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Я-то не имею опыта, но вот тебе пара соображений.. Источник наверняка положено делать с токоограничением, подобно сварочнику. Подозреваю, фронты там не очень критичны. Каких 100 мкс-пара милисекунд. Как это сделать на киловольтах, положенных магнетрону - не знаю. Мож., структура "чоппер-резонансный двухтактник", как в источнике подсветки ЛСД монитора.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Я-то не имею опыта, но вот тебе пара соображений.. Источник наверняка положено делать с токоограничением, подобно сварочнику. Подозреваю, фронты там не очень критичны. Каких 100 мкс-пара милисекунд. Как это сделать на киловольтах, положенных магнетрону - не знаю. Мож., структура "чоппер-резонансный двухтактник", как в источнике подсветки ЛСД монитора.

 

С силовой схемой то проблем нет. Опыта разработки у меня хватает.

Участвовал в проекте где нужно было формировать 35кВ в наносекундном диапазоне (сотни нс)

 

А откуда соображения по фронтам? Или это просто догадки?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Просто догадка. В микроволновой печке идут импульсы тока единицы милисекунд. Да и импульс скорее всего для прогрева чего-нить. А мгновенно оно вряд ли прогреется.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Вот решил собрать источник питания для такой штуки и столкнулся с проблемой не хватки описания такой нагрузки как магнетрон. Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.

Напряжение на нагрузке максимальное;

Мощность нагрузки;

Описание нескольких режимов:

Режим тренировки магнетрона

Режим постоянного тока магнетрона

Режим импульсного (даны частоты)

Режим дугогашения (время сняния напряжения)

Режим поджига

Еще пара статей где приводится вольт-амперная характеристика при определенных условиях (опред. материал мишени, опред. газ)

 

Но ничего не сказано о динамике и параметров импульсов, нет ничего конкретного по каждому режиму работы.. Я понимаю что вопрос очень специфический, но все же решил закинуть удочку вдруг кто попадется.

 

Вы доку на конкретные магнетроны смотрели ?

 

На импульсные магнетроны даются макс. напряжение, ток, dV/dt, длительность импульса, скважность, мощность.

На непрерывные - макс. напряжение, ток, средний ток.

 

Есть требования к времени прогрева катода и к снижению напряжения накала в зависимости от анодного тока (средней мощности).

По поводу пробоев: для импульсных ограничивается энергия на уровне максимальной за импульс и считается число пробоев.

Для непрерывных нужно ток ограничивать.

 

P.S. делал питание для магнетрона СВЧ печки. 4.2кВ 250мА, источник тока с ограничением напряжения.

Также, есть опыт построения модулятора 50кВ 3А.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Люди работают с установками магнетронного напыления.

 

Если у вас имеются конкретные вопросы, напишите. Постараюсь их переадресовать специалистам.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Вот решил собрать источник питания для такой штуки и столкнулся с проблемой не хватки описания такой нагрузки как магнетрон. Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.

Магнетронов, это тех что в вакуумной камере? Для "coating"? Не тех что в микроволновках?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

меня тоже интересует, в принципе всё посчитано, вот для диплома нужно описать эту нагрузку. есть у кого нибудь ссылки и т.д.? буду очень признателен.

будущий пром электроник

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Но ничего не сказано о динамике и параметров импульсов, нет ничего конкретного по каждому режиму работы.. Я понимаю что вопрос очень специфический, но все же решил закинуть удочку вдруг кто попадется.

Для DC-магнетрона, а он самый распространенный (есть еще ВЧ), никаких импульсов не надо, просто DC. Наверное, просто плохо представляете, что это. А это, утрированно, металлический кусок в вакууме среди магнитного поля, при подаче напяжения на него, возникает ионизация (стабильный плазменный разряд), итд. итп. в результате этот кусок распыляется по молекулам :laughing: Ничего заумного от БП не требуется, магнетрон не испортится...

меня тоже интересует, в принципе всё посчитано, вот для диплома нужно описать эту нагрузку. есть у кого нибудь ссылки и т.д.? буду очень признателен.

будущий пром электроник

Специфика в другом: могут возникать короткие замыкания в виде дуги от магнетрона (катода) к аноду (БП должен кратковременно снять напругу)(вот где может помочь импульсный режим, как блоку, так и магнетрону), могут быть и безтоковые паузы (БП желательно снабдить вольтдобавкой). Одним словом, нагрузка меняется в больших пределах, поэтому БП должен иметь режимы работы со стабилизацией по току/напряжению/мощности (ОС разумеется). А самое главное - надежность! Пусть он на 6 кВт, т.е примерно 10А номинально, а при дуге, если ее допустить, будет до 200 А...

Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.

Напряжение на нагрузке максимальное;

Мощность нагрузки;

Описание нескольких режимов:

Режим тренировки магнетрона

Режим постоянного тока магнетрона

Режим импульсного (даны частоты)

Режим дугогашения (время сняния напряжения)

Режим поджига

Режим тренировки магнетрона - когда тот самый "кусок металла" загрязнен, возникают частые дуги, поэтому это режим очистки магнетрона, где не требуется качественного распыления. Самый пугающий режим для БП, того и глядишь - коротнет, а на маленьких токах "чистить" долго...

Режим постоянного тока магнетрона - тот самый просто DC

Режим импульсного (даны частоты) - DC подается импульсами, что препятствует частому дугообразованию...

Режим дугогашения (время сняния напряжения) - доли секунд без напруги, и дуги нет, любой приличный БПМ работает с этим.

Режим поджига - Не всегда плазма магнетрона стабильна, мало ионов, или слабо магнитное поле (ДА! Магнитное поле - не результат работы Магнетрона, оно из постоянных магнитов), и магнетрон "потух" Иногда для поджига надо поднять напр. до 1000 В, появится разряд, и магнетрон выходит на обычную ВАХ.

В целом, почти все описано, лучше, конечно, один раз взгянуть :rolleyes:

А кто пишет диплом, возможно, могу помочь с практической реализацией проекта...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

А кто пишет диплом, возможно, могу помочь с практической реализацией проекта...

 

также интересна тема, есть потребность в проектировании подобного БП, просьба откликнуться кто может посодействовать ...

 

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете написать сейчас и зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, авторизуйтесь, чтобы опубликовать от имени своего аккаунта.

Гость
Ответить в этой теме...

×   Вставлено с форматированием.   Вставить как обычный текст

  Разрешено использовать не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отображать как обычную ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставлять изображения напрямую. Загружайте или вставляйте изображения по ссылке.

×
×
  • Создать...