Jump to content

    
Sign in to follow this  
BarsMonster

Полировка пластин, монокристалл Si

Recommended Posts

Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?

Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Share this post


Link to post
Share on other sites
Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?

Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотя бы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Скорее всего ГОИ не получится, лучше сразу алмазные пасты, наверное последовательно снижая зернистость.

И станок высокооборотный.

Кремний же очень твердый, но хрупкий на излом.

 

В идеале, моют деионизированой водой, если не ошибаюсь, вода с удельным сопрот. то ли еденицы, то ли десятки. Мом/м или см, уже не вспомнить.

Не знаю о пластинах, но монокристаллы-затравки, кажется травили (особо не обращал внимания).

В любом случае если травить, то мыть ведь потом надо.

УЗ тоже должен помочь.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Карбид кремния (микропорошки) на воде. Подложка- стекло или ситалл. Моют растворами по кличке - “пиранья”. Один для удаления органических загрязнений, другой для неорганических. По памяти, один - NH3+H2O2 , второй - HCL+ H2O2. Если надо, уточню. При необходимости (удаление поврежденного полировкой слоя), поверхность травят плазмой (обычно аргон). С ультразвуком связываться не советую, от малейшей трещины пластина разваливается на куски.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Хмм, сегодня попробую... Быть может все гораздо хуже чем я думал )

 

Да, действительно, ГОИ почти не берет кремний ) 5 минут работы на 1см^2 - а зеркала еще нет, но визуально небольшой прогрес конечно виден. В микроскопе - те же бугры по 15-25 микрон, видимо только чуть подравнялись "вершины".

 

Я как то и не подумал, что у стали/меди которые раньше полировал успешно - твердость по моосу 3-4, а у кремния то 7 :-)

 

Придется ехать за подсказанными абразивами, спасибо.

 

Насчет Пираньи - а пластины с заводской полировкой им не обрабатывают? Из упаковки - и в работу?

Share this post


Link to post
Share on other sites
Насчет Пираньи - а пластины с заводской полировкой им не обрабатывают? Из упаковки - и в работу?

По договоренности с поставщиком. Мы получаем в негерметичных контейнерах, затем вейферы разрезаются (грязный процесс). Поэтому сами проводим полный цикл очистки (не только химия).

Share this post


Link to post
Share on other sites
Да, действительно, ГОИ почти не берет кремний ) 5 минут работы на 1см^2 - а зеркала еще нет, но визуально небольшой прогрес конечно виден. В микроскопе - те же бугры по 15-25 микрон, видимо только чуть подравнялись "вершины".

 

Я как то и не подумал, что у стали/меди которые раньше полировал успешно - твердость по моосу 3-4, а у кремния то 7 :-)

 

Придется ехать за подсказанными абразивами, спасибо.

А попробуйте-ка полировать пастой ГОИ оргстекло - достаточно мягкий материал. Удивитесь еще больше.

Полировать алмазной пастой, отмывать деионизованной водой, травить плавиковой кислотой.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Join the conversation

You can post now and register later. If you have an account, sign in now to post with your account.

Guest
Reply to this topic...

×   Pasted as rich text.   Paste as plain text instead

  Only 75 emoji are allowed.

×   Your link has been automatically embedded.   Display as a link instead

×   Your previous content has been restored.   Clear editor

×   You cannot paste images directly. Upload or insert images from URL.

Sign in to follow this