Jump to content

    
Sign in to follow this  

Recommended Posts

Видеоролики по теме: "Chip manufacturing process" и "Semiconductor manufacturing process video".

Возможно, что кто-либо из трудящихся на зеленоградском "Микроне" или "Ангстреме" подскажет, на них похожая обстановка?

Edited by Enthusiast

Share this post


Link to post
Share on other sites
Про лупу. Смотрел я в эту "лупу". Дифрактометр называется

Да понятно, что не портновским сантиметром и мелом размечают.

Неужели кто-то шутку про шестикратную лупу всерьез воспринял?

Share this post


Link to post
Share on other sites
Неужели кто-то шутку про шестикратную лупу всерьез воспринял?

 

в данном случае вы не шутите :) Достаточно взглянуть на неполированную сторону (если она есть) пластины в оптический микроскоп с небольшим увеличением (50...100 раз) и будет видна форма плоскостей кристалла. Если пластина с ориентацией (100), вы увидите квадраты, (111) - правильные треугольники.

А нотч, конечно служит указателем ориентации и используется тех. оборудованием.

Edited by alexunder

Share this post


Link to post
Share on other sites
в данном случае вы не шутите :) Достаточно взглянуть на неполированную сторону (если она есть) пластины в оптический микроскоп с небольшим увеличением (50...100 раз) и будет видна форма плоскостей кристалла. Если пластина с ориентацией (100), вы увидите квадраты, (111) - правильные треугольники.

А нотч, конечно служит указателем ориентации и используется тех. оборудованием.

Что касается определения ориентации, здесь действительно ряд методов определения методами не сложнее лупы.

- анизотропное травление

- отломать кусок пластины - кремний хорошо ломается вдоль напр. 100(?110)

Share this post


Link to post
Share on other sites

итак, почему пластины круглые разобрался.

видео-ролики порадовали.

 

НО! на одном ролике возник еще один вопрос. Там в тигель закладывали куски кремния. с ладошку размером,и все такие неровные.

вопрос: эти куски природного происхождения, или тут хим.промышленность постаралась?И если не природного происхождения, то почему их тогда не делают какого-нибудь нормированного размера, там кубики 5 на 5 см например?

Share this post


Link to post
Share on other sites
итак, почему пластины круглые разобрался.

видео-ролики порадовали.

 

НО! на одном ролике возник еще один вопрос. Там в тигель закладывали куски кремния. с ладошку размером,и все такие неровные.

вопрос: эти куски природного происхождения, или тут хим.промышленность постаралась?И если не природного происхождения, то почему их тогда не делают какого-нибудь нормированного размера, там кубики 5 на 5 см например?

Чистого кремния в природе не водится, все больше в виде двуокиси - он же кварцевый песок. Кремний получают восстановлением оксида, далее очистки и, наконец, выращивание монокристалла методом Чохральского (одновременно с последней очисткой). Куски особой формы не нужны, все равно переплавлять.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Чистого кремния в природе не водится, все больше в виде двуокиси - он же кварцевый песок. Кремний получают восстановлением оксида, далее очистки и, наконец, выращивание монокристалла методом Чохральского (одновременно с последней очисткой). Куски особой формы не нужны, все равно переплавлять.

Сначала получают слитки поликремния. Классический Сименс-процесс - это восстановление водородом из паров Si-Cl4 (низкоэффективный процесс) или из Si-H-Cl3 (более эффективный), или из их смеси. Есть более экзотичные технологии получения поликремния. Восстанавливают осаждением на стержни-подложки.

Механическая обработка, дробление - далее вытягивание слитков. Никакой промежуточной очистки нет, как вы твердые куски очистите?

Читка косвенно в процессе вытягивания монокристалла.

Самая экзотичная чистка была - тигель с расплавом во вращающем магнитном поле, но это было экспериментально.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Почему круглые ?

А вы попробуйте при нанесении фоторезиста прямоугольную пластину покрутить на центрифуге!

Прежде чем заявлять такое, посмотрите на основе чего делают пленочные ИС.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Кроме того, что уже назвали, знаю как минимум и еще одну причину, почему круглые - поверхностные напряжения чтобы были ниже. На круглой с этим всё попроще, чем было бы в углах квадрата.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Join the conversation

You can post now and register later. If you have an account, sign in now to post with your account.

Guest
Reply to this topic...

×   Pasted as rich text.   Paste as plain text instead

  Only 75 emoji are allowed.

×   Your link has been automatically embedded.   Display as a link instead

×   Your previous content has been restored.   Clear editor

×   You cannot paste images directly. Upload or insert images from URL.

Sign in to follow this