Перейти к содержанию
    

Почему пластины круглые?

Видеоролики по теме: "Chip manufacturing process" и "Semiconductor manufacturing process video".

Возможно, что кто-либо из трудящихся на зеленоградском "Микроне" или "Ангстреме" подскажет, на них похожая обстановка?

Изменено пользователем Enthusiast

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Про лупу. Смотрел я в эту "лупу". Дифрактометр называется

Да понятно, что не портновским сантиметром и мелом размечают.

Неужели кто-то шутку про шестикратную лупу всерьез воспринял?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Неужели кто-то шутку про шестикратную лупу всерьез воспринял?

 

в данном случае вы не шутите :) Достаточно взглянуть на неполированную сторону (если она есть) пластины в оптический микроскоп с небольшим увеличением (50...100 раз) и будет видна форма плоскостей кристалла. Если пластина с ориентацией (100), вы увидите квадраты, (111) - правильные треугольники.

А нотч, конечно служит указателем ориентации и используется тех. оборудованием.

Изменено пользователем alexunder

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

в данном случае вы не шутите :) Достаточно взглянуть на неполированную сторону (если она есть) пластины в оптический микроскоп с небольшим увеличением (50...100 раз) и будет видна форма плоскостей кристалла. Если пластина с ориентацией (100), вы увидите квадраты, (111) - правильные треугольники.

А нотч, конечно служит указателем ориентации и используется тех. оборудованием.

Что касается определения ориентации, здесь действительно ряд методов определения методами не сложнее лупы.

- анизотропное травление

- отломать кусок пластины - кремний хорошо ломается вдоль напр. 100(?110)

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

итак, почему пластины круглые разобрался.

видео-ролики порадовали.

 

НО! на одном ролике возник еще один вопрос. Там в тигель закладывали куски кремния. с ладошку размером,и все такие неровные.

вопрос: эти куски природного происхождения, или тут хим.промышленность постаралась?И если не природного происхождения, то почему их тогда не делают какого-нибудь нормированного размера, там кубики 5 на 5 см например?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

итак, почему пластины круглые разобрался.

видео-ролики порадовали.

 

НО! на одном ролике возник еще один вопрос. Там в тигель закладывали куски кремния. с ладошку размером,и все такие неровные.

вопрос: эти куски природного происхождения, или тут хим.промышленность постаралась?И если не природного происхождения, то почему их тогда не делают какого-нибудь нормированного размера, там кубики 5 на 5 см например?

Чистого кремния в природе не водится, все больше в виде двуокиси - он же кварцевый песок. Кремний получают восстановлением оксида, далее очистки и, наконец, выращивание монокристалла методом Чохральского (одновременно с последней очисткой). Куски особой формы не нужны, все равно переплавлять.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Чистого кремния в природе не водится, все больше в виде двуокиси - он же кварцевый песок. Кремний получают восстановлением оксида, далее очистки и, наконец, выращивание монокристалла методом Чохральского (одновременно с последней очисткой). Куски особой формы не нужны, все равно переплавлять.

Сначала получают слитки поликремния. Классический Сименс-процесс - это восстановление водородом из паров Si-Cl4 (низкоэффективный процесс) или из Si-H-Cl3 (более эффективный), или из их смеси. Есть более экзотичные технологии получения поликремния. Восстанавливают осаждением на стержни-подложки.

Механическая обработка, дробление - далее вытягивание слитков. Никакой промежуточной очистки нет, как вы твердые куски очистите?

Читка косвенно в процессе вытягивания монокристалла.

Самая экзотичная чистка была - тигель с расплавом во вращающем магнитном поле, но это было экспериментально.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Почему круглые ?

А вы попробуйте при нанесении фоторезиста прямоугольную пластину покрутить на центрифуге!

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Почему круглые ?

А вы попробуйте при нанесении фоторезиста прямоугольную пластину покрутить на центрифуге!

Прежде чем заявлять такое, посмотрите на основе чего делают пленочные ИС.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Кроме того, что уже назвали, знаю как минимум и еще одну причину, почему круглые - поверхностные напряжения чтобы были ниже. На круглой с этим всё попроще, чем было бы в углах квадрата.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение
Поделиться на другие сайты

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете написать сейчас и зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, авторизуйтесь, чтобы опубликовать от имени своего аккаунта.

Гость
Ответить в этой теме...

×   Вставлено с форматированием.   Вставить как обычный текст

  Разрешено использовать не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отображать как обычную ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставлять изображения напрямую. Загружайте или вставляйте изображения по ссылке.

×
×
  • Создать...