Jump to content

    

Вопросы по технологиям изготовления ИС

7) А наносят ли диэлектрики испарением в вакууме?

Температура кипения диэлектриков при околонулевом давлении хоть и выше используемых металлов (Al ~600, Ag/Au ~1000), но не выглядит фатальной (~1700C для SiO2)...

Понятно что какие-нибуть 10-20нм равно проще и надежнее вырастить из кремния, а вот 0.1-1um....

Share this post


Link to post
Share on other sites
6) Почитал замечательную книжку - "Металлизация ультрабольших интегральных схем".

Однако остались вопросы: в чем проблемы использования серебра и золота для металлизации внутри схемы и контактов к транзисторам? Очевидно, что дело не в стоимости материалов :-)

 

Постепенно вопрос проясняется:

золото с кремнием образует противные интерметаллические соединения уже при 300C, да и травить тяжко :-)

серебро - как и медь опасный источник загрязнений в кремнии, не держиться за SiO2. Но в отличии от меди возможно плазменное травление в CF4.

 

7) Неужели RC константа такое влияние на производительность оказывает?

Как затворы из поликремния - так никто нос не воротил, несмотря на сопротивление.

А тут лишние пара микро/миллиомм (по сравнению с алюминием) и уже трагедия :-)

 

По электромиграции - да, бесспорный выигрыш есть.

Share this post


Link to post
Share on other sites

8) Какие вообще подзатворные диэлектрики используются, кроме SiO2?

А то уж больно муторно его выращивать...

 

MicroTec. Можно 3D, 2D и 1D профили посмотреть, и ВАХ посчитать.

 

Очень долго бился головой об гугол, но так и не нашел рабочую версию :-(

Share this post


Link to post
Share on other sites

9) Кто может провести платный урок по workflow разработки ИС в Москве? :-)

 

Хочу чтобы показали следующий процесс: Берем простейшее устройство в VHDL (например a=a+45 по тактовому сигналу, а на выход), и доводим его до масок на самом популярном наборе софта.

 

По идее тут не слишком долго должно быть. Безусловно можно разобраться самостоятельно, но иногда лучше 1 раз увидеть :-)

 

 

 

 

Share this post


Link to post
Share on other sites
9) Кто может провести платный урок по workflow разработки ИС в Москве? :-)

 

Хочу чтобы показали следующий процесс: Берем простейшее устройство в VHDL (например a=a+45 по тактовому сигналу, а на выход), и доводим его до масок на самом популярном наборе софта.

 

По идее тут не слишком долго должно быть. Безусловно можно разобраться самостоятельно, но иногда лучше 1 раз увидеть :-)

На самом популярном - это, наверное, Synopsys. В России их представляет Alt-S (alt-s.ru).

Насчёт Cadence не знаю, вроде бы у них сейчас нет поддержки в России.

Share this post


Link to post
Share on other sites
На самом популярном - это, наверное, Synopsys. В России их представляет Alt-S (alt-s.ru).

Насчёт Cadence не знаю, вроде бы у них сейчас нет поддержки в России.

 

Меня не официальные курсы и поддержка интересуют, а посмотреть на систему в работе с человеком, который с ней работает, чтобы было определенное представление для дальнейших раскопок.

Share this post


Link to post
Share on other sites

BarsMonster могу предложить учебные материалы в духе лабораторных работ, прочитал сделал, ни чего сложного. только определитесь с софтом: synopsys or cadence?

Share this post


Link to post
Share on other sites
BarsMonster могу предложить учебные материалы в духе лабораторных работ, прочитал сделал, ни чего сложного. только определитесь с софтом: synopsys or cadence?

В таком случае буду смотреть обе, а там видно будет что лучше пойдет :-)

Share this post


Link to post
Share on other sites

Для начала могу предложить книгу Digital VLSI Chip Design with Cadence and Synopsys CAD Tools. В ней более менее достоверно описан типичный маршрут проектирования с примерами. Правда не уверен, что все пойдет как по маслу. Самый сложный квест найти нужный софт(естественно все под линуксом). Cadence IC5.033 - моделирование, редактор для ручного ввода схем, редактор для рисования топологии.

Cadence soc Encounter - RTL в GDSII. Synopsys Design Compiler RTL to Gate синтез.

h__p://uploading.com/files/264252cm/DigitalVLSIChipDesign.rar/

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

10) Насколько верно то, что от утоньшения техпроцесса главный бонус в смысле скорости - уменьшение длины канала транзисторов.

И например если трензистор 1um x 1um но затвор 50нм, то работать будет как в "лучших домах", и даже лучше, т.к. чем чем больше ширина перехода тем меньше RC-задержка?

Share this post


Link to post
Share on other sites
8) Какие вообще подзатворные диэлектрики используются, кроме SiO2?

А то уж больно муторно его выращивать...

 

 

 

Очень долго бился головой об гугол, но так и не нашел рабочую версию :-(

 

 

http://narod.ru/disk/3426611001/MT302.rar.html

:rolleyes:

 

Share this post


Link to post
Share on other sites
6) Почитал замечательную книжку - "Металлизация ультрабольших интегральных схем".

Однако остались вопросы: в чем проблемы использования серебра и золота для металлизации внутри схемы и контактов к транзисторам? Очевидно, что дело не в стоимости материалов :-)

А книга на паблике есть?

Share this post


Link to post
Share on other sites

 

Спасибо, надежно припрятал, чтобы больше не терялось )

Жаль однако что в 64-х битной винде не работает, о времена... )

Share this post


Link to post
Share on other sites
2) Где и что можно почитать по оптике используемой в (иммерсионной) фотолитографии и high-NA?

Как человеку имевшему в конце 80-х некоторое отношение к теме - тоже очень интересно, как и вообще

описание всей современной технологической цепочки в компактном виде (можно на английском)

Edited by sherr

Share this post


Link to post
Share on other sites
Как человеку имевшему в конце 80-х некоторое отношение к теме - тоже очень интересно, как и вообще

описание всей современной технологической цепочки в компактном виде (можно на английском)

 

На edaboard послали в ieee.

Там же затронута чертовски интересная тема о том, как именно плохеет транзисторам в присутствии загрязнений, вот если бы книгу по этому найти....

Share this post


Link to post
Share on other sites

Create an account or sign in to comment

You need to be a member in order to leave a comment

Create an account

Sign up for a new account in our community. It's easy!

Register a new account

Sign in

Already have an account? Sign in here.

Sign In Now
Sign in to follow this