Jump to content

    
Sign in to follow this  
baumanets

Как калибровать synopsys TCAD 10 под заданный техпроцесс.

Recommended Posts

Собственно меня интересует как калибровать synopsys TCAD под заданный техпроцесс, и какие данные необходимо снимать с установок диффузии, ионного легирования, термического отжига и т.д.

(Установки ещё с советских времён.)

Share this post


Link to post
Share on other sites

я делаю как...беру технологическую карту нужной операции, например разгонка р-кармана, делаю последовательно операции загрузки, нагрева, окисления, перераспределения примеси, по заданным в карте временам и температурам, и проверяю контролируемые параметры, как правило это толщина окисла, если есть окисление, Rs, и глубина p-n - перехода. если все это попало в "ворота" то дальше в любом маршруте где есть эта операция - копи-паст и все. Если какой то из параметров не попадает в нормы, то начинаются танцы с бубном, а именно меняю среду, парциальные давления газовой смеси, или потоки газов, если не хватает толщины окисла то добавляю воду. Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)

Edited by KriegerNsk

Share this post


Link to post
Share on other sites
Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)

 

или наоборот советские установки под TCAD =)

в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама

Share this post


Link to post
Share on other sites
или наоборот советские установки под TCAD =)

в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама

Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb

Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?

Edited by baumanets

Share this post


Link to post
Share on other sites
Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb

Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?

 

огромный pdbSet в помощь

Share this post


Link to post
Share on other sites
Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb

Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?

 

правильно ли я понял, что ты хочешь проверить соответствие профилей после диффузии промоделированный и практический?

т.е. у тебя они не совпадают,верно?

Share this post


Link to post
Share on other sites
правильно ли я понял, что ты хочешь проверить соответствие профилей после диффузии промоделированный и практический?

т.е. у тебя они не совпадают,верно?

Да.

Share this post


Link to post
Share on other sites
по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

Share this post


Link to post
Share on other sites
Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

По CV на FATFET например можно профиль получить.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

http://epiel.ru/ru/ - снимет точно, начёт цены не знаю, но думаю не особо дорого, ибо они этых профилей делают великое множество.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

Хоть вопрос уже устарел, но в Минске в НТЦ "Белмикросистемы" таким делом успешно занимается подразделение "Белмикроанализ".

Share this post


Link to post
Share on other sites

Join the conversation

You can post now and register later. If you have an account, sign in now to post with your account.

Guest
Reply to this topic...

×   Pasted as rich text.   Paste as plain text instead

  Only 75 emoji are allowed.

×   Your link has been automatically embedded.   Display as a link instead

×   Your previous content has been restored.   Clear editor

×   You cannot paste images directly. Upload or insert images from URL.

Sign in to follow this