Jump to content

    
Sign in to follow this  
_alex__

Пластины и чистые среды для структур квантового уровня

Recommended Posts

Интересует такой вопрос. Производятся ли кремниевые(или из других материалов) пластины с практически нулевой шероховатостью и абсолютной чистотой для размещения на них массивов
квантовых точек и других структур состоящих из не более чем несольких десятков атомов?

Share this post


Link to post
Share on other sites

Ответ: производятся. Занимался нанесением КТ CdSe/ZnS (с органической "шкурой") для формирования монослоев на стандартных 200мм кремниевых пластинах.

Очистку поверхности (от чего?) лучше производить самим: сырыми методами (для грубой) с последующей кислородной плазмой (если еще нужна гидрофильность).

Share this post


Link to post
Share on other sites

Значит промышленное производство пластин диаметром 100-200мм и качеством поверхности на уровне идеального листа графена возможно?
Кстати, а что на сегодня с технологиями промышленного производства графена? Есть технологии производства и нанесения графена на подложки диаметром 100-200мм?

 

Share this post


Link to post
Share on other sites
4 hours ago, _alex__ said:

Кстати, а что на сегодня с технологиями промышленного производства графена?

Вполне стандартный процесс уже лет 10: CVD на тонкой пленке катализатора (любой переходный металл, но луче всего медь). После синтеза плёнка графена переносится на другую пластину. Методов переноса тоже несколько.

4 hours ago, _alex__ said:

Есть технологии производства и нанесения графена на подложки диаметром 100-200мм?

Есть (см выше). Лет 10 назад как раз отрабатывал методику извлечения full scale пленки графена с 100мм пластины для переноса на рабочую пластину.

Ныне же в ЕС разрабатывается фаб-оборудование для работы с wafer-scale двумерными кристаллами в рамках Graphene Flagship. В проекте участвуют такие гранды как Aixtron. Причем, разрабатывается сразу под 300мм пластины, т.к. закладываться под 200мм нет смысла. Поищите 2D-EPL.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Мне сервис universitywafer регулярно присылает свои прайсы.

 

Hello
 
We have a large selection of substrates. Below are just a few. 
 
Please let us know if you need us to quote you any materials/services.  If you can't use please forward to a peer who can!
 
Current specials on Partial Cassettes of Si and
 
300mm MEMC/Sun Edison Undoped Silicon >100 ohm-cm
200mm Float Zone Silicon >2,000 ohm-cm
150mm Prime Grade wafers $9.90 each
100mm Thick Silicon Wafer and Thin P, N, Undoped (100) (111) (110) <1 ohm-cm to >20,000 ohm-cm
 
(Other MEMC Wafers 100mm, 150mm, 200mm and 300mm also available)
 
SOI - Soitec SOI - buy as few as one wafer! 50nm Device, 100nm Device, 220nm device and more
 
 
 
If you can't use, please forward to a peer who can!
 
Bonded SOI also available.
 
Sapphire up to 200mm and dummy grades Undoped?
Silicon-?o?n-?Sapphire?
 
SiC? - 4h and 6h?
 
Float Zone Si? undoped >20,000 ohm-cm?Si - Inexpensive Mechanical Grade up to the highest quality Prime
?
Ultra-Thinned Si <5 micron thick
 
Thin Borofloat 33 (Same as  pyrex 7740)
 
ITO
 
Metals Deposition
 
Nitride LPCVD and PECVD Stochiometric, Low Stress, Super low stress Nitride
Thermal Oxide  Dry and Wet 
GaAs
InP
GaSb
GaP
InSb
InAs
ZnO, MgO, SrTiO3, CdTe, CdSe
Dicing
Vacuum Pumps
Sputtering Targets
and so much more!  
 
Emails what you need or if you want to see the inventory list.
13.04.2021 в 17:59, _alex__ сказал:

Интересует такой вопрос. Производятся ли кремниевые(или из других материалов) пластины с практически нулевой шероховатостью и абсолютной чистотой для размещения на них массивов
квантовых точек и других структур состоящих из не более чем несольких десятков атомов?

Для этой цели можно взять любую пластину для промышленности. Из наших в Пинске пластины делают, НПО Интеграл.

А так интерферометр в руки и полировальное оборудование с растворами. По полосам и кольцам определяются отклонения. Так можно вывести "в ноль" любую пластину для научных нужд.

Растворы для полировки готовят масс-сепарацией частиц абразива. Если вы физик с лабораторией , проблем не составит получить нужное наноразмерное зерно абразива.

Было бы метрологическое оборудование для определения критерия истинности. У нас люди с интерференционным контролем руками зеркала телескопов шлифуют, не то что пластины.

Share this post


Link to post
Share on other sites

А какими стандартами(нашими и зарубежными) нормируются шероховатость, дефекты и процент лишних примесных атомов в таких материалах?

Share this post


Link to post
Share on other sites
2 часа назад, _alex__ сказал:

А какими стандартами(нашими и зарубежными) нормируются шероховатость, дефекты и процент лишних примесных атомов в таких материалах?

А у вас какое профильное образование? В вашем предложении содержатся ошибки, а именно, незнание порядков концентраций легирующих примесей и их роль.

Поясняю, слова "процент" и "лишних".

Share this post


Link to post
Share on other sites

Я не специалист в этой области, поэтому и спрашиваю. И в вопросах термины могу неправильно использовать.
Наверняка есть стандарты классифицирующие такие изделия по степени чистоты материала(ведь непросто получить материал в котором нет ни одного чужеродного атома) и по колличеству(плотности) дефектов поверхности.

Share this post


Link to post
Share on other sites
4 часа назад, _alex__ сказал:

Я не специалист в этой области, поэтому и спрашиваю. 

ULSI Technology

by C. Y. Chang (Editor), S. M. Sze  (Editor)
ISBN-13: 978-0070630628
ISBN-10: 0070630623
 
Начинай с этого, часть вопросов отпадёт.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Join the conversation

You can post now and register later. If you have an account, sign in now to post with your account.

Guest
Reply to this topic...

×   Pasted as rich text.   Paste as plain text instead

  Only 75 emoji are allowed.

×   Your link has been automatically embedded.   Display as a link instead

×   Your previous content has been restored.   Clear editor

×   You cannot paste images directly. Upload or insert images from URL.

Sign in to follow this