[Avex 1]

Само по себе создание PDK - дело не хитрое: измериловка да софт, и чуть чуть знаний различных форматов, чтобы тулы не плевались. К тому же, поскольку речь идет о купленных фабах, то всегда есть рыба от продавца, которую надо только допилить. Годами наблюдал эволюцию pdk для разных процессов от Микрона, А-Т и Курчатника. Специалистов на эти задачи (создание pdk) в РФ - хватает, на мой взгляд.

[baumanets 12]

  

2 часа назад, makc сказал:

Возвращаясь к теме. Посетив Экспоэлектронику я пообщался с представителем калининградского Кварца https://ao-kvartz.ru/services/engineering/ и он сказал, что снова пошли заказы на их оборудование. Это говорит о том, что какие-то производства развиваются. Понятно дело, что оборудование далеко не современное, но тем не менее оно востребовано и как минимум этот задел можно и нужно развивать. Может быть кто-нибудь в курсе, что с другими элементами технологического оборудования для производства, которое разрабатывается и выпускается в России? Понятное дело, что "всё плохо" и т.д., но всё же. ;-)

https://ao-kvartz.ru/services/engineering/special-vacuum-processing-equipment/avtomatizirovannaya-ustanovka-vakuumnogo-napyleniya-uvn-71p-3m-1/

На картинке, еще советская разработка КД, с которой делали ВУП-5. Ну решили в Жигули добавить бортовой компьютер. Характеристики современного Мерседеса она от этого не получит.

Выгрузки автоматической нет, оператор снимает и ставит колпак.

• контроль и автоматическое окончание напыления резистивных и металлических пленок по заданному времени или по заданному сопротивлению свидетеля.

А это значит, что встроенной профилометрии / эллипсометрии в установки для контроля роста слоев нет. Запустили, шлифуем шариком спутник для определения толщины, попали - не попали в допуск.

 

Вот НИИТМ, другое дело, они насколько известно, на экспорт работают. Но за качество набегает ценник соответствующий.

 

Другой вопрос, что рядовой команде инженеров у нас в РФ, не будучи где-то устроенной на каких-либо НИИ и заводах, сделать даже сколь угодно простое оборудование на отечественном станочном парке нереально.

Но в НИИ и НПО, где могут изготовить, там гонят вал, живут с ренты с ОКР-ов. Творческому человеку скажут: "Заткнись и делай то, что я сказал, нам твои инициативные разработки на фиг не нужны".

Если работать через отечественную биржу заказов по мехобработке, то всех кто пытается сделать детали ниже 9 квалитета, предприятия посылают заре навстречу. Либо ставят десятикратный ценник.

А если еще в чертеже поставить допуски на биения втулок и валов, на плоскостность, перпендикулярность, как в обычной геометрической оптике в нормальных странах, то посылают даже без выставления ценника.

 

Вот, например я знаю как сделать обыкновенный автоматический зондовой стол для пластин, для случая если стойку микроскопа брать готовую. На выставках была возможность сделать фото с разных сторон.

У меня есть оборудование для измерений, и если кто отдаст современный импортный стол под разбор, создать правильное КД на него я сейчас могу. Знаю даже как определить марки сталей и сплавов, из которых он сделан.

Не знаю только материал для СВЧ-игл и их геометрию. Но проблема вся в том, что даже при наличии КД, предприятия смогут с нужными допусками изготовить только в Китае.

 

[alexunder 4]

16 minutes ago, baumanets said:

А это значит, что встроенной профилометрии / эллипсометрии в установки для контроля роста слоев нет. Запустили, шлифуем шариком спутник для определения толщины, попали - не попали в допуск.

Это 100% аппарат на основе старорежимного ВУПа. И внутренней in-situ измериловки, конечно, нет.

25 minutes ago, baumanets said:

У меня есть оборудование для измерений, и если кто отдаст современный импортный стол под разбор, создать правильное КД на него я сейчас могу. Знаю даже как определить марки сталей и сплавов, из которых он сделан.

Речь об wafer testing? А что там такого хайтечного в этих столах (chuck)? P.S. Работал на полуавтоматах от SUSS и Cascade microtech.

[baumanets 12]

53 минуты назад, alexunder сказал:

Речь об wafer testing? А что там такого хайтечного в этих столах (chuck)? P.S. Работал на полуавтоматах от SUSS и Cascade microtech.

Да, тестирование пластин. Хочется открытый проект стола сделать. Чтобы народ снизу двигал микроэлектронику.

[Pavia 0]

  

On 4/12/2021 at 12:41 AM, alexPec said:

Сколько на сегодняшний день может стоить комплект оборудования (и какой?) для организации производства кристаллов по технологии 180нм (цифровые логические схемы)?

Интересную тему Вы подняли. Сразу скажу по образованию я прикладной-математик.  По существу моих знаний в этой теме можете считать меня диванным-теоретиком.

В старые времена менеджеры Интела любые сравнивать свои заводы с хлебобулочными заводами.  И как по мне требования к такому производства в России умышленно преувеличены. 

 

Вы не уточнили какое оборудование Вас интересует. лабораторное или для конвейерного производства? В значимости от технологии думаю все необходимое оборудование может обойтись от 1 млн рублей до 100 млн рублей.

 

[psygash 0]

7 hours ago, Pavia said:

Вы не уточнили какое оборудование Вас интересует. лабораторное или для конвейерного производства? В значимости от технологии думаю все необходимое оборудование может обойтись от 1 млн рублей до 100 млн рублей.

 

В этой отрасли то что вы назвали это вообще не деньги, ни о чем.

[yes 5]

8 hours ago, Pavia said:

  хлебобулочными заводами. 

это сейчас при построенных элеваторах, электричестве, транспорте построить такой завод не проблема, а в средневековье если?

а про стоимость - сошлюсь на википедию - имеет смысл, так как эти конторы публичные и публикуют свои финансы, то скорее всего цифры в википедии не фантазийные, а из тех отчетов

TSMC invested $9.3 billion in its Fab15 300 mm wafer - биллионы тут американские, то есть по нашему это ярды

https://en.wikipedia.org/wiki/Semiconductor_fabrication_plant

[Pavia 0]

  

5 hours ago, yes said:

это сейчас при построенных элеваторах, электричестве, транспорте построить такой завод не проблема, а в средневековье если?

А зачем вас в средневековье электронная вычислительная машина, если электричества нет? Для всего нужна своя среда и своё время. 

 

6 hours ago, psygash said:

В этой отрасли то что вы назвали это вообще не деньги, ни о чем.

Если Вы как директор хотите больше зарабатывать вы должны больше продавать. Что бы оправдать большие цены нужны большие расходы. 

Как по вашему Сэм Зелуф Биллионер или обычный американский студент? Который выращивает микросхемы у себя в гараже.

 

Технология 180 нм не отличается от тех толстых норм по которым выращивает микросхемы Сэм.  Разве что оптическим микроскопом становиться трудно контролировать процесс.   

[alexPec 3]

14 часов назад, Pavia сказал:

  

Вы не уточнили какое оборудование Вас интересует. лабораторное или для конвейерного производства? В значимости от технологии думаю все необходимое оборудование может обойтись от 1 млн рублей до 100 млн рублей.

 

Оборудование интересует скорее лабораторное (для штучного производства) и мелокосерийное. В массовом производстве интереса нет. Как говорили тут, это больше политика, я с этим соглашусь. А интересно именно примерно во сколько выйдет создание небольшой (если это вообще возможно) лаборатории, с небольшими мощностями, но способной воспроизвести на свет кристалл (достаточно сложный- т.е. не один логический элемент, а 10-100 тыс. лог.элементов) по соответствующей технологии (180нм). Пусть из пластины выйдет 10% годных - но чтоб хотя бы 10% оказались без дефектов, рабочие.

Тем не менее, не представляю как можно уложиться в 1 млн рублей - понятно что это не 180нм, ну пусть даже 350нм - лично мое (субъективное, ни на чем не основанное) мнение - нереально.

Может есть возможность привести в пример конкретное оборудование и примерные цены на него? Пусть не на 180нм, пусть на 350нм, 90нм - да на любую технологию <500нм. Чтобы понимать что есть такое-то оборудование и столько-то примерно оно стоит. 

[yes 5]

37 minutes ago, Pavia said:

  

А зачем вас в средневековье электронная вычислительная машина, если электричества нет? Для всего нужна своя среда и своё время. 

 

Как по вашему Сэм Зелуф Биллионер или обычный американский студент? Который выращивает микросхемы у себя в гараже.

 

Технология 180 нм не отличается от тех толстых норм по которым выращивает микросхемы Сэм.  Разве что оптическим микроскопом становиться трудно контролировать процесс.   

средневековье, это имелось в виду не календарное время, а уровень технологий, который доступен. то есть развивать в РФ любую технологию будет тяжелей, чем на западе - просто потому, что надо будет развить еще то, что там уже есть готовое. это вообще проблема автаркий.

напишите в цифрах - предположу, что у него достижимо 10 микрон, в особо удачных случаях, а не 0.18 микрона. сейчас это уже сопоставимо с печатными платами - 70 микрон

 

[baumanets 12]

alexPec, если у вас есть юр. лицо, типа ООО или АО вам ответят производители оборудования.

Если ваш родственник министр или глава таможни, тогда можно и без юр лица запросить госструктуры.

Если ваш родственник олигарх и хочет заняться микроэлектроникой, это реально, но начинать надо с конца, с продаж чипов, на суммы в десятки миллионов рублей выручки. Тогда вы сможете продать свою собственную разработку, изготовленную в ЮВА своей клиентской базе.

[alexPec 3]

14 минут назад, baumanets сказал:

Если ваш родственник министр или глава таможни, тогда можно и без юр лица запросить госструктуры.

Если ваш родственник олигарх и хочет заняться микроэлектроникой, это реально, но начинать надо с конца, с продаж чипов, на суммы в десятки миллионов рублей выручки. Тогда вы сможете продать свою собственную разработку, изготовленную в ЮВА своей клиентской базе.

К сожалению (а может к счастью) с родственниками варианты не мои :) 

Кстати, спасибо за интересную информацию, которой Вы с нами выше поделились!

[alexunder 4]

8 hours ago, yes said:

TSMC invested $9.3 billion in its Fab15 300 mm wafer - биллионы тут американские, то есть по нашему это ярды

Всё так, но тема же про 180нм, а не современный фаб (ваша цитата). 180нм это о двухстах милиметрах. С недавних пор цена фаба о 180нм может быть любой, учитывая, что все хватаются за них как могут, в том числе китайцы.

2 hours ago, alexPec said:

Оборудование интересует скорее лабораторное (для штучного производства) и мелокосерийное.

Даже для мелкосерийного нужен фаб. Хотя не ясно, что для Вас мелкосерийное. Мелкосерийно удобно производить на нормах 1.5-2 мкм, т.к. там можно жить с контактной литографией. Нужна металлизация, имплантер, ветбенчи. 180нм на коленке не получится. Видеоролики всяких колхозников (как тут выше вставляли) - ерундень. Тут на форуме был один, тоже хотел колхозить...

Если есть электронный микроскоп, можно переделать под литограф. Но опять же, вам понадобятся электронные резисты (PMMA), проявитель для него (MIBK) да и вообще чистый ветбенч (wetbench), где можно творить сырые процессы. Лучше под это дело найти чистую лабораторию на базе университета/института и там обосноваться, чем в гараже, как тот колхозник из видео. В домашних условиях можно PCB делать вполне устойчиво, но ИС вряд-ли, а главное - зачем? Если только процесс ради самого процесса.

[alexPec 3]

34 минуты назад, alexunder сказал:

 Лучше под это дело найти чистую лабораторию на базе университета/института

Вот для этого и интересуюсь :) Как раз имеется хороший контакт с университетом. А там спрашивают "сколько?". Вот и решил тут у старших товарищей поинтересоваться порядком цен на все это.

Ну про 180нм понятно - видимо, слишком серьезная технология для реализации в лаборатории. 1,5-2мкм - слишком грубо. На них чип с коммерчески полезным функционалом не сделать (имею ввиду цифровые схемы).

А что насчет 350/250нм ? Кардинально оборудование по эти нормы отличается от 180нм?

 

[baumanets 12]

1 час назад, alexunder сказал:

Если есть электронный микроскоп, можно переделать под литограф. Но опять же, вам понадобятся электронные резисты (PMMA), проявитель для него (MIBK) да и вообще чистый ветбенч (wetbench), где можно творить сырые процессы.

Лет 5 назад с институтов РАН электронные микроскопы выкидывали пачками. Основные болячки их 2: садятся катоды и нарушается геометрия.

Вся беда в том, что для правки катодов нужно как минимум 2 шлифовальных станка: 1 круглошлифовальный и 1 внутришлифовальный со скоростью 200000 об/мин. Но у нас физики не имеют специализации шлифовщиков :-)

Если использовать микроскоп как литограф, катод станет расходником, причем дорогущим по причинам описанным выше.

По остальному легче. Электронные резисты делали в той же химфизике (ИХФ) рамках каких-то НИР. Какие-то проявители с фотошаблонами делали в "Славиче". В теории можно раскатать реактив на стекле с помощью их оборудования. Или на мощностях "Интеграла".

Влажные процессы делают окислением сверхчистого водорода в избытке кислорода. Установки видел миллиона за 1,5. На пару ей нужна установка фотонного отжига для мелких переходов.

Установки ионного легирования у нас могут спроектировать в Дубне. Потому, что это по сути ускоритель с энергией сотни КЭВ. ПХО и ПХТ у нас в стране делают в НИИТМ нормальные.

Сборочное оборудование для molding-а по сути микро прессформа с разварочной головкой.

Ну а о разработке установок контроля электропараметров на форуме скажут и без моего участия.

П.С. alexunder расскажи о технологии сквозной палладиевой металлизации отверстий плат. Есть ли рецептура в открытом доступе?