[Hale 1]

Товарищи хотят построить ECR плазмогенератор. Это такая кольцевая магнитная ловушка-резонатор (циклотрон) и сетка с окном поперек оси плюющаяся ионами того газа что туда подают. Собственно, как оно работает на выходе, не наше дело. А с обратной стороны надо подводить СВЧ или ВЧ мощность... Т.е возможны варианты от 10МГц до 15 ГГц, возможно с подстройкой в узком диапазоне. Интересно почитать/узнать какие источники СВЧ и как делают для этих задач. Что-нибудь кроме ЛБВ?

[Hale 1]

up...

[alexunder 4]

Довольно плотно пользовался аппаратурой сухого травления и плазменного напыления, но, увы, с устройством генераторов знаком очень приблизительно. Могу сказать что системы генерации на 13 МГц и 2.4ГГц сильно отличались друг от друга (для конечного юзера типа меня), т.к. пару раз лицезрел внутренности генераторов в ремонте. В случае ГГц диапазона установка чаще называлась магнетронной, что как бы намекает на тип базового компонента.

Так-то по вопросу немало литературы в сети, в т.ч. научных статей:

https://www.sairem.com/wp-content/uploads/2017/12/Aura-Wave-2-45_GHz-microwave-plasma-sources.pdf

 

 

[merkader 3]

В 03.04.2019 в 02:52, Hale сказал:

Товарищи хотят построить ECR плазмогенератор. Это такая кольцевая магнитная ловушка-резонатор (циклотрон) и сетка с окном поперек оси плюющаяся ионами того газа что туда подают. Собственно, как оно работает на выходе, не наше дело. А с обратной стороны надо подводить СВЧ или ВЧ мощность... Т.е возможны варианты от 10МГц до 15 ГГц, возможно с подстройкой в узком диапазоне. Интересно почитать/узнать какие источники СВЧ и как делают для этих задач. Что-нибудь кроме ЛБВ?

То что Вы описали - это источник ионов. Рекомендую почтать книги по этой тематике. Иначе будет трудно понять, что же Вам нужно и главное за какие деньги. Браун Я.(ред.)  Физика и технология источников ионов. - М. Мир, 1998. -496 с.;  Brown I.G. The Physics and Technology of Ion Sources. - 2-ed. - Wiley-VCH, 2004. - 387р. ; Яфаров Р.К. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий.  - М. Физматлит, 2009. - 216 с.  От понимания физической задачи будет ясна и рабочая частота СВЧ системы и ее конструкция. Специальных книг прямо по теме нет. Для работы используют в основном СВЧ системы разработанные для технологических целей (0,915 и 2,45 ГГц) или космической связи.

 

[Hale 1]

Спасибо большое за наводки. Будет что в субботу почитать.

"Специальных книг прямо по теме нет" - вот да, я тоже сходу не нашел, загрустил как-то.

[merkader 3]

15 часов назад, Hale сказал:

"Специальных книг прямо по теме нет" - вот да, я тоже сходу не нашел, загрустил как-то.

Грустить не стоит, все системы построены на уже известных схемах и подходах используемых в радиопередающих  устройствах. Разница в основном в оконечной нагрузке - плазма вместо антенны, поэтому имеются и некоторые особенности. Так, что в качестве основы ищите книги с названием похожим на "Радиопередающие устройства" "Передающие устройства СВЧ" и т.п.

[PArtem 0]

>Собственно, как оно работает на выходе, не наше дело. А с обратной стороны надо подводить СВЧ или ВЧ мощность...

с плазмой не так все просто, процессы "розжига" разряда и "горение" - существенно разные с точки зрения нагрузки на генератор

(или сопротивления нагрузки), те генератор должен работать в очень широком диапазоне нагрузок (от почти 0 до почти КЗ).

Поищите автореферат Кралькиной Е.А. http://physelec.phys.msu.ru/rf-discharge.html

в основном, там про индуктивный разряд, но есть ссылки на др. статьи по этой теме, сможете хотя бы качественно представить с чем столкнетесь при разработке.

вот тут еще немного....

https://pandia.ru/text/77/318/10957.php

 

 

[тау 23]

13 часов назад, PArtem сказал:

Кралькиной Е.А

УФН 5 2008.pdf

[Hale 1]

Вот спасибо!