PaulB 0 Posted March 23, 2017 · Report post Здравствуйте беспокойные умы. Сегодня речь пойдет об установке магнетронного напыления, полностью спроектированной и изготовленной своими руками. Надеюсь что данная установка подходит под тематику раздела. Но к сожалению все показано у меня на видео: Видео: Моделирование Для начала я вкратце постараюсь ответить, для чего нужны подобные установки и что же такое, ионно-плазменное распыление. Мишень - это тот материал, который распыляется. Подложка - это, то на что происходит напыление. Установки такого рода позволяют формировать на подложках тончайшие слои токопроводящих материалов (в основном металлов). В качестве подложек может использоваться как токопроводящий, так и диэлектрический материал. А для того чтобы сформировался нанослой, например какого либо металла на подложке, требуется сначала хорошенько атаковать металл плазма-образующими ионами, для этого используют зажжение плазмы тлеющего разряда при пониженном давлении и магнетрон в качестве ловушки для электронов. Видео: Конструкция магнетрона Давайте рассмотрим простейшую схему магнетрона и его работу, и вы поймете, почему он является ловушкой (постараюсь без особой научности, но думаю, что многие будут против, так как некоторые моменты без этого не объяснить, но я постараюсь). Классический тлеющий разряд загорается при постоянном токе, и ток течет от анода к катоду. Катодом является плоская мишень, под которой находится кольцевой магнит. Электроны летящие от катода, ионизируют газ в объеме, ионы которого попадают в мишень, из нее выбивают атомы которые вновь сталкиваются с электронами, тем самым их часть ионизируется… В общем образуется электронная лавина, которая закручивается магнитным полем и не дает им после столкновений улететь, тем самым магнит удерживает электроны и при этом увеличивается образование атомов, которые осаждаются на подложке, тем самым формируя пленку. А теперь от теории к практики. Так как я занимаюсь различными плазмохимическими технологиями при атмосферном давлении, то через какое-то время возник интерес и к пониженному давлению. Источник питания тлеющего разряда у меня уже имелся в наличии, его я сделал давно. И после покупки вакуумного насоса, начались эксперименты, которые выявили некоторые трудности при работе с пониженным давлением. Видео: Пробная плазма Подводя итоги этой части статьи, можно сказать, что работа движется, получается немалый опыт и дополнительные знания. На данный момент, готов корпус в железе, он будет покрашен, после чего начнется сборка. Кому интересно, подписываемся на канал и следим за постройкой установки. Видео: Как работает магнетрон Quote Ответить с цитированием Share this post Link to post Share on other sites
AndreyVN 0 Posted April 19, 2017 · Report post Здравствуйте беспокойные умы. Здравствуйте! При каком давлении происходит/предполагается происходить напыление? Quote Ответить с цитированием Share this post Link to post Share on other sites
PaulB 0 Posted May 23, 2017 · Report post Давление мне пока измерять нечем, но надеюсь что откачает до хотя бы 100Па. Сейчас пока что в системе много течей, и плазма практически не загорается, на видео это хорошо видно. Видео : Первое включение и испытание Quote Ответить с цитированием Share this post Link to post Share on other sites
PaulB 0 Posted September 7, 2017 · Report post Кое что получается, но не так как хотелось бы: Испытание Замена вакуумного насоса Устройство для измерения вакуума Quote Ответить с цитированием Share this post Link to post Share on other sites
Евгений Вл 0 Posted September 8, 2017 · Report post "Кое что получается, но не так как хотелось бы:..." И это в обычной квартире? Молодец. Что советую сделать: 1. Форвакуумный насос как можно ближе поставить к откачиваемому объему. 2. Применить трубу от входа форвакуумного насоса как можно короче, прямее, и проходным сечением равным сечению входа насоса. 3. Поискать диффузионный насос и ловушку для паров масла. 4. Спросить на подходящем заводе, нет ли у них в неликвидах: вакуумной резины, насосов, приборов и датчиков для измерения вакуума, установок вакуумного напыления на запчасти. Еще в 2000-е годы их списывали тысячами. Quote Ответить с цитированием Share this post Link to post Share on other sites
krian 0 Posted June 13, 2018 · Report post У меня есть метра 3 трубки из вакуумной резины. Могу подарить, если надо. Quote Ответить с цитированием Share this post Link to post Share on other sites