Jump to content

    

Акселерометр, что внутри?

Всем доброго дня!

Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено?

Share this post


Link to post
Share on other sites

Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.

Share this post


Link to post
Share on other sites

бывает датчик на кварце, Доплера эффект однако

Share this post


Link to post
Share on other sites
Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.

Также используются изгибные деформации.

Share this post


Link to post
Share on other sites

Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS) будут работать в условиях сильных магнитных и/или электрических полей? Никто не сталкивался с этим? Если кремний, то наверно будет реагировать на магнитное поле плюсом к ускорению? И вообще, MEMS - системы внутри датчика экранированы? И чем: диа- пара- магнетиками или ферромагнетиками или и тем и другим, или ничем? Вобщем, есть сомнения по поводу корректности работы датчика в магнитном поле... Если кто может, подтвердите или опровергните пожалуйста.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Если кремний, то наверно будет реагировать на магнитное поле плюсом к ускорению?

А где у кремния плюс? В ядрах?

Share this post


Link to post
Share on other sites
Guest @Ark
Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS) будут работать в условиях сильных магнитных и/или электрических полей? Никто не сталкивался с этим?

Если акселерометр изготовлен по принципу:

Чувствительная система акселерометра представляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный...

то, при движении акселерометра в сильном магнитном поле, будут изменения показаний датчика. Наблюдал этот эффект при работе на расстояниях примерно 0,5м от провода с током порядка 200А и скорости датчика порядка несколько сантиметров в секунду...

 

Share this post


Link to post
Share on other sites
то, при движении акселерометра в сильном магнитном поле, будут изменения показаний датчика. Наблюдал этот эффект при работе на расстояниях примерно 0,5м от провода с током порядка 200А и скорости датчика порядка несколько сантиметров в секунду...

Так и думал, спасибо за информацию

 

А где у кремния плюс? В ядрах?

 

"Плюсом" имелось ввиду "в добавок" к ускорению

Share this post


Link to post
Share on other sites

При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции.

Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Guest @Ark
При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции.

Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля.

В моем примере внешние аналоговые цепи были минимальны. Аналоговые выходы трехосевого акселеромера были заведены непосредственно на входы АЦП МК. Длина дорожек - где-то 5-10мм. Результат измерения передавался уже в цифре. Сам датчик, вместе с обвеской, был заключен в герметичный алюминиевый корпус с толщиной стенки где-то 3-4мм. Наружу выходили только питание и RS485. Но самое главное, если бы были существенные наводки на аналоговые цепи, то искажались бы все три значения ускорений. А так наблюдалось искажение только по одной из осей - перпендикулярно направлению линий магнитного поля и направлению движения датчика (с постоянной скоростью) - в полном соответствии с правилом правой руки.

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

Я имел в виду аналоговые цепи внутри датчика.

А проверить можно помещением его в постояное маг. поле.

Защититься - магнитным экранированием датчика.

Share this post


Link to post
Share on other sites
Guest @Ark
А проверить можно помещением его в постояное маг. поле.

Так там и было почти постоянное...

Защититься - магнитным экранированием датчика.

До этого ход не дошел... Вносимую погрешность сочли приемлемой, в рамках данной конкретной задачи...

 

Share this post


Link to post
Share on other sites

Create an account or sign in to comment

You need to be a member in order to leave a comment

Create an account

Sign up for a new account in our community. It's easy!

Register a new account

Sign in

Already have an account? Sign in here.

Sign In Now
Sign in to follow this