alexPec 3 12 октября, 2012 Опубликовано 12 октября, 2012 · Жалоба Всем доброго дня! Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено? Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
ilya-m 0 12 октября, 2012 Опубликовано 12 октября, 2012 · Жалоба Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
alexPec 3 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf Не говорят там из чего сделано... Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
ilya-m 0 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
proxi 0 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба бывает датчик на кварце, Доплера эффект однако Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Myron 0 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе. Также используются изгибные деформации. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
alexPec 3 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS) будут работать в условиях сильных магнитных и/или электрических полей? Никто не сталкивался с этим? Если кремний, то наверно будет реагировать на магнитное поле плюсом к ускорению? И вообще, MEMS - системы внутри датчика экранированы? И чем: диа- пара- магнетиками или ферромагнетиками или и тем и другим, или ничем? Вобщем, есть сомнения по поводу корректности работы датчика в магнитном поле... Если кто может, подтвердите или опровергните пожалуйста. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Tanya 4 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба Если кремний, то наверно будет реагировать на магнитное поле плюсом к ускорению? А где у кремния плюс? В ядрах? Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Гость @Ark 13 октября, 2012 Опубликовано 13 октября, 2012 · Жалоба Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS) будут работать в условиях сильных магнитных и/или электрических полей? Никто не сталкивался с этим? Если акселерометр изготовлен по принципу: Чувствительная система акселерометра представляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный... то, при движении акселерометра в сильном магнитном поле, будут изменения показаний датчика. Наблюдал этот эффект при работе на расстояниях примерно 0,5м от провода с током порядка 200А и скорости датчика порядка несколько сантиметров в секунду... Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
alexPec 3 14 октября, 2012 Опубликовано 14 октября, 2012 · Жалоба то, при движении акселерометра в сильном магнитном поле, будут изменения показаний датчика. Наблюдал этот эффект при работе на расстояниях примерно 0,5м от провода с током порядка 200А и скорости датчика порядка несколько сантиметров в секунду... Так и думал, спасибо за информацию А где у кремния плюс? В ядрах? "Плюсом" имелось ввиду "в добавок" к ускорению Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
alexvu 5 15 октября, 2012 Опубликовано 15 октября, 2012 · Жалоба При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции. Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Гость @Ark 15 октября, 2012 Опубликовано 15 октября, 2012 · Жалоба При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции. Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля. В моем примере внешние аналоговые цепи были минимальны. Аналоговые выходы трехосевого акселеромера были заведены непосредственно на входы АЦП МК. Длина дорожек - где-то 5-10мм. Результат измерения передавался уже в цифре. Сам датчик, вместе с обвеской, был заключен в герметичный алюминиевый корпус с толщиной стенки где-то 3-4мм. Наружу выходили только питание и RS485. Но самое главное, если бы были существенные наводки на аналоговые цепи, то искажались бы все три значения ускорений. А так наблюдалось искажение только по одной из осей - перпендикулярно направлению линий магнитного поля и направлению движения датчика (с постоянной скоростью) - в полном соответствии с правилом правой руки. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
alexvu 5 16 октября, 2012 Опубликовано 16 октября, 2012 · Жалоба Я имел в виду аналоговые цепи внутри датчика. А проверить можно помещением его в постояное маг. поле. Защититься - магнитным экранированием датчика. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Гость @Ark 16 октября, 2012 Опубликовано 16 октября, 2012 · Жалоба А проверить можно помещением его в постояное маг. поле. Так там и было почти постоянное... Защититься - магнитным экранированием датчика. До этого ход не дошел... Вносимую погрешность сочли приемлемой, в рамках данной конкретной задачи... Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
proxi 0 16 октября, 2012 Опубликовано 16 октября, 2012 · Жалоба http://www.alibaba.com/product-gs/64109058...elerometer.html акселирометры никаких mems Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
