baumanets 13 September 9 Posted September 9 · Report post В 08.09.2023 в 12:13, khach сказал: Кому рассчет нужен? Нужна готовая установка, которую может обслуживать малообразованный в ускорительной технике персонал. Если вы в теме, вопрос- существуют ли конструкции имплантаторов в виде модуля типа головка к вакуумной камере, накрутил на фланец и можно пользоваться? Это наверно будет модуль с квадрупольным сепаратором и циклотронным разгоном ионов и весьма небольшой энергией ионов. Потому что классика как на рисунках выше с магнитным сепаратором это весьма большая отдельная машина. Вопрос всей этой массы передать ионам энергию в десятки-сотни КэВ. Чтобы набрать её ионам надо пролететь определенное расстояние в электрическом поле, а потом отклониться по силе Лоренца в магнитном поле и пролететь щель-сепаратор, где его отделит от других химических элементов с другой массой. Если материал - монокристалл, при определенном направлении ион ещё и каналировать будет - пролетать ему в определенных направлениях ничего мешать не будет. Это требует прецизионного двухуглового гониометра. Для всякой плазмы, они не нужны. А для легирования необходимы. У вас для квадрупольного, гексапольного и хз*2*N-польного доза никакая. В ловушке в таком состоянии такого количества ионов я не видел, чтоб можно было 10^19 примеси закачать в 10^23 атомов собственного полупроводника. Поэтому источник нужен твердый или газообразный. Арсин или фосфин в аргоне такая отрава, что утечки из одного баллона хватит чтоб отравить целый квартал в городе. Если мы концетрируем примесь, получаем химическое оружие. Ответ - пока такой конструкции не изобрели. В установке легирования обязательна ускороительна труба длиной несколько метров, отсюда массогабариты, помноженные на допуски мехобработки толкают цену далеко вверх. Quote Share this post Link to post Share on other sites More sharing options...
khach 16 September 11 Posted September 11 · Report post В 09.09.2023 в 15:35, baumanets сказал: В установке легирования обязательна ускороительна труба длиной несколько метров, Как это делается по класиике я в курсе, вопрос был, получится ли это уменьшить? Ускорительную струкутру предполагалось попробовать сделать на цепочке СВЧ резонаторов, возможно сверхпрводящих. Справится ли квадруполь с таким флюксом- тоже без понятия, поэтому и интересовало мнение спецов которые в этом компетентны. Как масс-сепаратор в RGA ( анализатор остаточных газов) в той же MBE машине квадруполь работает идеально. Но флюкс там конечно на 5 порядков меньше чем у имплантатора. Quote Share this post Link to post Share on other sites More sharing options...
_pv 30 September 11 Posted September 11 · Report post 6 hours ago, khach said: Как это делается по класиике я в курсе, вопрос был, получится ли это уменьшить? Ускорительную струкутру предполагалось попробовать сделать на цепочке СВЧ резонаторов, возможно сверхпрводящих. я сварщик не настоящий, но у сверхпроводящих резонаторов там градиенты ускорения - какие-то десятки МэВ/м, для получения сотни-другой кэВ связываться ещё и с криогеникой - ну такое себе развлечение. врядли это размеры вообще уменьшит. Электронные микроскопы электростатикой вполне обходятся как-то до нескольких сотен кэВ. Quote Share this post Link to post Share on other sites More sharing options...
vov4ick 18 September 12 Posted September 12 · Report post Большие вакуумные камеры вместе с масс-спектрометром нужны ещё и для обеспечения чистоты. В большой и в идеале сферической камере хороший вакуум создать намного проще чем в маленькой, протяжённой и с развитой поверхностью. Quote Share this post Link to post Share on other sites More sharing options...
