ORPPIS 0 10 июня, 2016 Опубликовано 10 июня, 2016 · Жалоба Пытаюсь сформировать структуру МОП-транзистора с trench-канавками с помощью приложения Athena в Silvaco TCAD 2016. Возникает ошибка "минимальное значение полигона сетки меньше 0.001 мкм" и дальнейшее моделирование структуры прерывается. Какие пути устранения ошибки посоветуете? Какими средствами TCAD для оптимизации сетки Вы пользуетесь? Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
Lilija 0 10 июня, 2016 Опубликовано 10 июня, 2016 · Жалоба Попробуйте использовать модуль "Victory Process". Сетка, формируемая в этом модуле, имеет заданный пользователем шаг для всех слоев (поликремний, Si, SiO2 и др.) и только в местах структурных изгибов уплотняется до заданного значения "множителя уплотнения" - значения параметра resolution команды Init. Ваша проблема с сеткой должна устраниться при таком подходе. Цитата Поделиться сообщением Ссылка на сообщение Поделиться на другие сайты Поделиться
